RS‑02 属于 RS 系列中型排气消音配件，专为 LR 系列中型多级罗茨干式真空泵配套，采用阻抗复合消音结构，不锈钢筒体，分为套件 A、套件 B 两套装配套件，降噪性能优异，适合半导体、镀膜产线中型干泵排气降噪，仅适配洁净气体工况，不可直接处理强腐蚀、高粉尘工艺废气。
整机结构
‑SUS304 不锈钢筒体，做防锈处理，内部多腔膨胀消音腔体，吸音结构耐高速气流冲刷，不易碎屑脱落，规避二次污染管路。
‑NW40 卡箍快装接口，依靠卡箍搭配 O 型密封座完成密封对接，无需焊接改造。
‑分两套完整套件：套件 A 适配 LR60、LR90、LR300、LR180；套件 B 适配 LR600、LR1200；套件内含卡箍、O 型密封座、连接配管、固定支架，到货即可现场装配，无需额外采购连接件ULVAC SHOW...。
‑底部配置集液排污口，收集排气冷凝积水，方便定期排放清理。
工作原理
中型多级罗茨干泵运转时，转子压缩产生高压脉动排气，高速气流带来较强排气噪声。脉动高压气流进入 RS‑02 内部膨胀腔，气流流速、压力得到衰减，声波在多腔体内反射干涉，声能被消耗实现降噪。
通流截面经过优化，控制排气背压上升，不会降低真空泵抽速与极限真空。该配件仅实现排气降噪，无过滤、废气净化功能，不能去除粉尘与腐蚀性工艺介质。
核心性能参数
接口规格：NW40
整机重量：约 8.3kg
降噪效果：50Hz 裸泵 84dB (A)，加装后 72dB (A)，降噪 12dB；60Hz 裸泵 93dB (A)，加装后 73dB (A)，降噪 20dB
适配泵型：套件 A 适配 LR60、LR90、LR300、LR180；套件 B 适配 LR600、LR1200
适用介质：洁净空气、氮气、微量水蒸气
安装方式：立式垂直安装，禁止倾斜倒置
工作环境温度：5‑40℃
产品核心优势
1. 不锈钢壳体强度高，耐受干泵排气温度，不易锈蚀，适配产线长期连续运行。
2.NW40 卡箍快接，成套配件齐全，现场拆装便捷，不用复杂管路改造。
3. 阻抗复合消音，60Hz 工况*高降噪 20dB，有效改善车间噪音环境。
4. 内部通流截面充足，背压增量小，不影响真空泵抽气性能。
5. 底部集液排污结构，可排出冷凝积水，延长配件使用寿命。
6. 双套件区分，覆盖多款 LR 系列中型干泵，选型匹配简单。
典型应用场景
半导体产线 LR 系列中型干式真空泵排气降噪；
中型 Load‑Lock 负载锁腔真空机组排气；
PVD 溅射、蒸镀镀膜设备中型干泵排气端；
科研中试平台中型真空设备噪声治理。
使用注意事项
本机仅做消音排气导向，没有过滤与废气净化能力；处理含粉尘、腐蚀性气体工况，前端必须加装过滤、废气处理装置，粉尘进入腔体造成堵塞，背压升高会损伤真空泵。
仅允许洁净空气、氮气、微量水汽工况，禁止直接通入卤素、强腐蚀工艺废气；HR 高温防腐干泵的排气需要先经过废气处理装置，再接入 RS‑02 消音器。
设备必须立式垂直安装，倾斜倒置会造成积液堆积，损坏内部消音结构。
定期开启底部排污口排放冷凝积水；定期检查腔体内部积灰堵塞情况，堵塞及时维护清理。
严禁封堵消音器排气出口，排气受阻背压升高，会直接造成真空泵故障。
选型务必选用对应套件，不可强行改装适配其他泵型。
