RS‑03 属于 RS 系列重型大流量干泵专用排气消音配件，针对大抽速大型干式真空泵开发，采用不锈钢重型筒体结构，分为套件 A、套件 B，适配 LR421、LR3601 等大流量半导体干泵。该款消音器侧重大流量排气导通、排气导向，同时实现小幅降噪，仅用于洁净气体工况，不可直接处理强腐蚀、高粉尘工艺废气。
整机结构
- 不锈钢重型筒体：一体成型不锈钢壳体，抗气流冲击，耐受排气温度，不易锈蚀，适配大型干泵大流量排气工况。
‑NW50 卡箍快装接口，卡箍搭配 O 型圈密封，拆装便捷，无需焊接改造。
‑分套件配置：套件 A 适配 LR421 (-T)；套件 B 适配 LR3601 (-T/TT/R/TR/TTR)；套件包含卡箍、O 型座、配管、固定支架，收到套件即可直接现场装配，不用额外采购连接件ULVAC SHOW...。
‑底部设置集液排污口，可收集排气中冷凝析出的积水，便于定期排放清理。
‑内部阻抗式消音腔体，兼顾大流量通流能力，控制排气背压升高，避免真空泵性能衰减。
工作原理
大型干式真空泵高速排出大流量脉动排气，压力脉动会带来排气噪声。高压脉动气流进入 RS‑03 筒体内部，气流经过扩容腔室，声波在腔体内部反射消耗声能，实现噪声衰减。
产品优先保障大流量气体顺畅排出，控制背压上升，避免影响大型干泵抽速与极限真空；本配件只实现降噪与排气导向，不具备过滤、废气净化处理功能，无法去除粉尘与腐蚀性介质。
核心性能参数
接口规格：NW50
整机重量：约 12.5kg
降噪效果：50Hz/60Hz 统一降噪 4dB (A)，裸泵 71dB (A)，加装后 67dB (A)
适配泵型：套件 A 适配 LR421 (-T)；套件 B 适配 LR3601 (-T/TT/R/TR/TTR) 大流量干式真空泵ULVAC SHOW...
适用介质：洁净空气、氮气、微量水蒸气
工作环境温度：5‑40℃，存储温度‑30‑60℃
安装方式：必须立式垂直安装，禁止倾斜倒置
产品核心优势
1. 重型不锈钢筒体，专为大流量大型干泵设计，通流截面充足，排气背压低，不会降低真空泵抽气性能。
2.NW50 卡箍快接结构，完整配套套件，现场快速完成装配，无需复杂管路改造。
3. 兼顾排气导向与降噪，适配半导体大型量产设备排气系统，优化车间声环境。
4. 底部集液排污结构，收集冷凝积水，减少水汽堆积，延长配件使用寿命。
5. 分套件选型，对应不同大型干泵机型，支架、连接件配套齐全，选型匹配简单。
典型应用场景
半导体产线 LR421、LR3601 大型干式真空泵排气降噪；
大型 Load‑Lock 腔体真空机组排气系统；
PVD 镀膜大型真空设备排气端；
中试、量产产线大流量真空设备排气导向降噪。
使用注意事项
本机仅做消音排气导向，无过滤、废气净化能力；处理含粉尘、腐蚀性气体工况，前端必须增设过滤、废气处理装置，粉尘进入腔体内部会造成堵塞，背压升高损坏真空泵。
仅允许洁净空气、氮气、微量水汽工况，禁止直接通入卤素、强腐蚀工艺废气；HR 高温防腐干泵排气，需要先经过废气处理装置，再接入 RS‑03 消音器。
设备必须立式垂直安装，倾斜、倒置会造成积液堆积，损坏内部结构。
定期打开底部排污口排放冷凝积水；定期检查内部是否积灰堵塞，堵塞后及时维护清理。
严禁封堵消音器排气出口，排气受阻背压升高，会直接引发真空泵故障。
选型务必匹配对应套件，不可强行改装适配其他泵型。
