日本FUJIKIN富士金隔膜阀
超高纯金属隔膜阀（富士金半导体*核心品类）
1. New Mega 系列（旗舰超高纯阀）
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代表型号
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关键特性
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半导体应用场景
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FPR-ND-71、FPR-SD-71、FPR-PNSD-721
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SUS316L EP/UP 超抛光（Ra≤0.25μm）、极低颗粒析出、Class1 洁净、耐 HF/NF₃/SiH₄等腐蚀性特气、气动常闭 / 常开可选、VCR 接口
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刻蚀机、CVD、ALD、腔室清洗特气通断切断；特气柜 GC、阀组盘 VMB 主路 / 旁路 / 吹扫阀
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两段式慢充阀（Dual-Flow Valve）
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大小流量双模式，缓慢升压防腔室颗粒扬起，35mm 紧凑型执行器
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真空腔体缓慢充气，大腔体刻蚀 / 沉积设备防扬尘工艺阀
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2. Mega 系列（经济型高纯隔膜阀）
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型号：FUND、FUND-L、FPR-NSD
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特点：低死体积、禁油无颗粒、性价比高
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用途：普通吹扫气、氮气、氩气输送，厂务大宗气路、机台辅助气路开关
3. KIWAMI 极系列**阀
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微流量两段切换隔膜阀，微小流量精准微调
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适配 ALD 微量前驱体气体、超小流量精密工艺切换
二、日本FUJIKIN富士金隔膜阀质量流量控制器 MFC（FCS 全系，刻蚀 / 沉积核心元器件）
分 ** 压力式 FCS-P（**先进制程）、热式 FCST（通用量产制程）** 两大路线
1. FCS-P7000 / FCS-P8500（压力式 MFC，富士金**技术）
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型号
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核心优势
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半导体应用
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FCSP7000、FCSP8500、LGFM8000
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抗入口压力波动、流量稳定性远超传统热式、响应速度快、极低温漂、适配微量～大流量
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3nm/7nm 先进制程干法刻蚀、ALD、PECVD、薄膜沉积；SiC/GaN 宽禁带晶圆精密供气；NF₃腔室清洗气精准配比
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2. FCST1000F / FCST1000MF（热式数字 MFC，量产主力）
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量程：10 SCCM ~ 50 SLM，精度 ±1% FS，RS485/EtherCAT 通讯
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耐腐密封 Kalrez/PCTFE，适配硅烷、氨气、氟化类特种气体
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应用：成熟制程 CVD、溅射、离子注入、清洗设备常规气体流量控制