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【荏原 EBARA EV-A10-2S 现货｜单相风冷多级罗茨干式真空泵，少量库存，可快速交付】
ULVAC 爱发科 GLD‑N202 双级油旋片真空泵，面向工业、实验室、半导体配套等场景打造，兼顾高真空性能与运行可靠性，是中等抽速工况下通用性较强的真空获得设备。 设备采用两级排气结构，相比...
近日，爱发科推出 UTM1500A‑MS 磁悬浮涡轮分子泵，属于 UTM‑MS 分体控制器系列，面向半导体工艺、镀膜、科研分析等高真空工况，为工业真空系统提供稳定可靠的无油排气选择。 该型...
项目背景 客户位于广东东莞，主体业务是芯片制作，并被评选为专精特新企业，主营功率半导体、SiC 器件真空热处理、真空焊接设备。设备主抽气管路热胀冷缩、设备机架形变，硬管焊缝频...
客户简介：华南 8 英寸晶圆代工工厂，做 NOR Flash、MCU、传感器芯片，成熟制程（130nm‑55nm），产线覆盖 CVD 薄膜沉积、湿法后段、Load‑Lock 负载锁腔、检测腔体；大量负载锁腔需要快速粗抽，对泵无...
ULVAC 爱发科 GR 系列多级罗茨型干式真空泵，该系列采用多级罗茨转子结构，泵体全程无油运行，杜绝油蒸气返流污染，是半导体、平板显示、光学镀膜等洁净制程的理想真空获得设备。GR 系列针对大容积腔体...
ESA 系列 = EBARA 荏原 多级罗茨式干泵 结构：两级主泵 + 罗茨增压，真空侧完全无油 抽速：1,400～70,000 L/min（84～4,200 m³/h） 极限真空：0.13～400 Pa（0.0013～4 mbar） 冷却：水冷（全系列） 一句...
荏原 EV‑X 系列是日本荏原（EBARA）2021 年推出的半导体中负荷工艺专用、节能型、模块化干式真空泵，主打：小型化、低能耗、耐腐、宽工艺覆盖、低。 荏原 EV‑X = 新一代半导体中负荷干式真空泵，空冷、超...
EBARA 荏原 ESA 系列 干式真空泵（半导体 MO‑CVD / 大腔室专用・罗茨式干泵） 定位：基于罗茨泵技术的干式真空泵，主打轻气体高效抽气、大腔室快速抽气、高负载稳定，是半导体MO‑CVD/EPI与光伏 / LCD 大...