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EBARA 荏原 EST 系列 干式真空泵（半导体级・耐腐蚀螺杆干泵） 定位：半导体重制程专用干式螺杆泵，主打高温防冷凝、强耐腐蚀、大流量稳定抽气，适配 CVD/ALD 等含大量反应副产物的严苛工艺
EBARA荏原EV-X系列干式真空泵，是日本荏原（EBARA）旗下核心工业级无油真空设备，采用多级罗茨啮合旋转结构，属于干式无油真空泵，全程无油、无接触啮合，无需润滑油润滑，从根源上杜绝油污染，契合半导体...
EV 系列 = EBARA 半导体用无油干式真空泵家族。 EV‑S（轻负荷罗茨）、EV‑M（重负荷罗茨）、EV‑X（新一代螺杆‑罗茨复合）。 你要的是 传统罗茨结构（EV‑S / EV‑M） EV‑S = 小型纯罗茨、轻负荷、超省...
EBARA 荏原 EV‑SA 系列是小型风冷多级罗茨干泵，主打极简安装、超低能耗、免维护、高洁净，专为实验室、分析仪器、轻负载半导体场景设计，是荏原干泵里体积*小、*轻、*省电的系列。
BARA 荏原 EV 系列 干式真空泵（半导体全制程・节能型罗茨干泵） 定位：EV 系列是荏原全场景覆盖的干式罗茨泵，分为 EV‑S（轻载）、EV‑M（重载）、EV‑SA/EV‑A（风冷小型）、EV‑L（大流量）四大子系列...
爱发科（ULVAC）是日本真空龙头，全链条真空产品 + 半导体 / FPD 设备全覆盖，核心优势是干泵、分子泵、真空镀膜 / 刻蚀设备，广泛用于半导体、显示、光伏、工业真空。
荏原制作所（EBARA）：日本百年精密机械巨头，全球半导体干泵**梯队（与爱德华、爱发科并列），在高腐蚀、大流量、高洁净制程市场份额极高，深圳半导体 / 面板 / 光伏厂标配。