核心型号与参数

1. 型号体系（3 款）

• EV‑A03：微型（桌面级 / 分析仪器）
• EV‑A06：小型（主流实验室 / 小腔室）
• EV‑A10：中型（轻负载量产 / 锂电）

2.关键规格

• 风冷免水（Plug & Pump）：无需冷却水，插电即用，无漏水风险，适配无水源 / 洁净室 / 移动场景。
• 超小超轻：EV‑A03 仅23kg，可放桌面；EV‑A10 带滚轮，方便移动布置。
• 低噪低能耗：噪音≈59dB(A)；极限真空功耗低至0.35kW，比油旋片泵省电≈50%。
• 高水汽耐受：风冷干泵中水蒸气抽除能力**（EV‑A10 达 500g/h），适合冻干、清洗等含水汽制程。
• 洁净免维护：无接触转子、无油、无密封件消耗，终身无需保养，符合 SEMI‑S2/CE/NRTL。
• 典型应用

• 半导体：小型 Load Lock 预抽、计量 / 检测设备、光刻 / 量测
• 科研 / 分析：SEM、质谱（LCMS/ICPMS）、X 射线、真空镀膜
• 工业：锂电制造、真空干燥、冻干、包装、小型 PVD、等离子清洗
  

  选购建议

  1. 预算紧 / 桌面级 / 微型腔室：优先选EV‑A03/EV‑A06。
  2. 锂电制造 / 小型 Load Lock：选EV‑A10。
  3. 更高真空 / 更大抽速：升级EV‑SA20/EV‑SA30。
  4. 氢气制程 / 大腔室：升级ESA 系列。