一、EV 系列罗茨干泵整体定位

• EV‑S：小型轻负荷罗茨干泵（经典纯罗茨）
• EV‑M：大型重负荷罗茨干泵（纯罗茨、大流量）
• EV‑X：新世代「螺杆 + 罗茨复合」（不算纯罗茨，但市场常归为 EV 系列）

二、EV‑S 系列：小型、轻负荷、纯罗茨干泵（常用罗茨）

1）定位

2）核心型号（2026 主流）

• EV‑S20：1,670 L/min（小）
• EV‑S50：5,000 L/min（中）
• EV‑S100：10,000 L/min（主流）
• EV‑S200：20,000 L/min（大）

3）命名后缀（必懂）

• P：N₂ Purge 氮气吹扫（防沉积）
• N：Ni‑Resist 高耐腐镍合金 + 吹扫（强腐蚀）
• 例：EV‑S100PN（10,000、高腐 + 吹扫）

4）关键参数（标准型）

• 抽速：1,670～20,000 L/min
• 极限真空：≤0.5 Pa
• 冷却：水冷（少量风冷 SA 型）
• 功率：0.4–0.75 kW（极低）
• 尺寸：非常小（S20 仅 230×450×274 mm）
• 重量：60–180 kg

5）EV‑S 罗茨特点

• ✅ 纯罗茨、无油、无接触，洁净度高
• ✅ 超省电：同流量比 EV‑M 省 50%+
• ✅ 体积小、轻，Sub‑Fab 好布置
• ✅ 标准耐腐，可加 PN 强腐蚀
• ❌ 不适合重负荷、高粉尘、大量副产物（会过热 / 沉积）
  

  三、EV‑M 系列：大型、重负荷、纯罗茨干泵（大流量主力）

  1）定位

  高负荷、大流量、高粉尘、大量副产物制程

  蚀刻、CVD、外延、离子注入、3D NAND（传统主力）。

  2）核心型号

  • EV‑M20N：2,000 L/min
  • EV‑M102N：10,000 L/min（主流）
  • EV‑M202N：20,000 L/min
  • EV‑M302N：30,000 L/min
  • EV‑M502N：50,000 L/min

  3）关键参数（标准 N 型）

  • 抽速：2,000～50,000 L/min
  • 极限真空：≤0.5 Pa
  • 冷却：水冷（必须）
  • 功率：1.8–2.3 kW（比 S 大，但可靠）
  • 尺寸：380×790×752 mm（M102N）
  • 重量：320–400 kg

  4）EV‑M 罗茨特点

  • ✅ 纯罗茨、高刚性、耐高温，重负荷**
  • ✅ 耐高粉尘、高副产物（SiO₂、TiN 等）
  • ✅ 标准耐腐铸铁 + 不锈钢，适合氟 / 氯制程
  • ✅ 超大流量到 50,000 L/min
  • ❌ 功耗高、体积大、必须水冷、价格高

  四、EV‑S vs EV‑M（纯罗茨怎么选）

  对比	EV‑S（轻负荷罗茨）	EV‑M（重负荷罗茨）
  结构	小型纯罗茨	大型纯罗茨
  负荷	轻、中负荷	高、重负荷
  抽速	1.67k–20k L/min	2k–50k L/min
  能耗	极低（0.4–0.75kW）	较高（1.8–2.3kW）
  冷却	水冷 / 风冷	必须水冷
  体积 / 重量	很小 / 轻	大 / 重
  腐蚀 / 粉尘	轻度	重度 / 高粉尘
  价格（2026）	S100：¥18–24 万	M102：¥25–30 万
  典型用途	Load Lock、SEM、小腔室	蚀刻、CVD、外延、3D NAND

  五、EV‑X 与传统罗茨（S/M）的区别
  

  很多人把 EV‑X 也叫 EV 罗茨，但它是「螺杆 + 罗茨复合」，不是纯罗茨

  EV‑X：前级螺杆 + 后级罗茨 → 更节能、更小、空冷、新制程**

  • EV‑S/M：纯罗茨 → 老厂存量、轻 / 重负荷传统应用