爱发科MS600A螺杆干泵产品解析
ULVAC爱发科MS600A是专为腐蚀性气体、粉末排出工艺设计的螺杆型干式真空泵，在传统LS系列基础上升级了耐腐蚀与排粉性能，适配半导体、锂电、真空热处理等多种工业场景。
核心参数：排气速度560m³/h，极限压力≤0.1Pa，功耗3.1kW，冷却水量＞4.0L/min，噪音62dB(A)，进气口ISO-F-80，排气口KF40，整机重量241kg，支持200V/400V双电压规格。
核心优势：
-
高耐腐蚀：转子轴、气缸等核心部件做特殊涂层处理，可抵御刻蚀、去胶等工艺的腐蚀性气体侵蚀，大幅延长泵体使用寿命；
-
强排粉能力：采用爱发科专属设计的螺杆转子结构，可高效排出工艺产生的粉末颗粒，避免泵内沉积堵塞，适配等离子清洗、烧结炉等产粉工况；
-
全压力稳定运行：可从大气压直接启动抽气，无需预抽泵辅助，全压力区间连续运行无性能波动，简化真空系统配置，降低运维成本。
使用案例：
某半导体刻蚀产线原使用的普通干泵，因长期接触含氯腐蚀性气体，转子频繁被腐蚀磨损，每3个月就需要停机维护更换部件，同时工艺产生的微量粉末在泵内沉积导致抽速下降，影响晶圆良率。换装MS600A后，泵体耐腐蚀性能满足刻蚀工艺需求，连续运行12个月未出现腐蚀故障，排粉能力保障了抽速稳定，设备维护周期延长至1年以上，产线停机时间减少60%。
