现货！ULAVC爱发科 螺杆型干泵 MS1200A
ULVAC爱发科MS1200A是MS系列中的大流量耐腐蚀螺杆型干式真空泵，属于该系列的顶配机型，专为大产能连续自动化产线设计。它在通用LS螺杆泵基础上进行了**升级，核心泵腔和转子采用加厚防腐涂层，配合大间隙排粉螺杆设计，全泵腔无油结构，可从大气压至极限真空全区间不间断运行，高效处理大量水汽、有机溶剂蒸汽、工艺粉尘与弱腐蚀气体，是12寸半导体、面板产线、大型锂电烘干线的标配主力前级真空泵。
核心参数
产品特点
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高耐腐蚀性：对转子轴、气缸等主要部件进行特殊涂层处理，可耐受酸碱腐蚀气体和有机溶剂蒸汽
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高性能排粉：采用ULVAC独特设计的螺旋式转子轴，大间隙流道设计，粉尘、颗粒物不易堆积卡死
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全压力范围连续运行：从大气压到极限真空均可连续运转，无需预抽真空
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无油洁净：全泵腔无油润滑结构，避免油蒸气污染工艺环境，适合对洁净度要求高的半导体、锂电工艺
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可配置性强：可配备附加控制板和传感器规格，密封材料可选氟橡胶（FKM）或全氟弹性体（FFKM）
使用案例
某大型锂电电极干燥产线
该产线原有油泵在电极干燥工序中频繁出现油品乳化、真空衰减问题，主要原因是干燥过程中产生大量水汽和有机溶剂蒸汽，导致泵油快速变质，旋片磨损严重，每2-3个月就需要停机换油维护，严重影响产线稼动率。
换装MS1200A后，得益于其全腔无油结构和1.5kg/h的水蒸气处理能力，设备可长期稳定处理干燥工序产生的大量水汽，无需担心油品乳化问题。大间隙螺杆设计也有效避免了电极粉末进入泵腔后的堆积卡死风险。连续运行6个月后，真空度始终稳定在工艺要求范围内，维护频次从每月1次降低至每季度1次常规点检，产线稼动率提升约15%。
某半导体刻蚀设备配套
在半导体刻蚀工艺中，工艺气体含有腐蚀性成分，对真空泵的耐腐蚀性能要求极高。MS1200A的加厚防腐涂层转子轴和气缸，配合0~50SLM可调吹扫气功能，可有效排出腐蚀性气体和反应副产物，避免泵腔内部腐蚀和沉积物堆积。980m³/h的大抽速也满足了刻蚀腔体快速抽真空的节拍要求，极限真空≤0.1Pa保证了工艺环境的稳定性。
适用场景
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半导体制造设备：刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备真空排气系统
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真空热处理炉：烧结炉、渗碳炉等真空排气系统
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锂电池制造设备：电极干燥设备、脱气设备、注液设备真空排气系统
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医疗食品设备：冷冻干燥设备、真空干燥机真空排气系统
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