现货！ULVAC 爱发科多级罗茨型干泵 GR180
ULVAC 爱发科多级罗茨型干泵 GR180，该产品属于 GR 系列多级罗茨干式真空泵，依托爱发科成熟的 LR/HR 系列干泵技术基础开发，主打工业洁净真空抽气场景，是 GR 系列中大抽速主力机型，非常适合化工、泛半导体行业高负荷反复抽气工况，无油干式结构可规避油污染工艺物料的风险，满足企业洁净生产、稳定量产的需求。
一、核心特点
GR180 采用多级一体化罗茨转子结构，泵腔内部无润滑油，转子与泵体非接触式运转，输出洁净真空，不会产生油气污染工艺腔体与工件。产品*大亮点是耐受大气 - 真空反复切换的高负荷循环抽气，适配 Load Lock 装载腔高通量连续生产。整机搭载水冷散热系统，温控稳定，运行振动低、噪音可控；电机支持多电压兼容，可按需选配防爆电机，满足存在易燃易爆挥发性气体的化工车间**规范。标配氮气轴封接口，可抑制工艺气体、粉尘侵入泵体，延长设备寿命，维护周期更长，降低产线停机检修成本，整机符合 CE **标准，适配国内外工厂项目落地。
二、核心参数（主流型号速览）
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型号
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GR60A
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GR90A
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GR180（GR180A）
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50Hz *大抽速
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62m³/h
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112m³/h
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183m³/h
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60Hz *大抽速
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80m³/h
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126m³/h
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237m³/h
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极限压力
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5Pa
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5Pa
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5Pa
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电机功率
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3.0kW
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5.5kW
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7.5kW
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冷却方式
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水冷
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水冷
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水冷
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整机重量
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165kg
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208kg
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268kg
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吸气法兰
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VG50
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VG63
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VG80
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三、典型应用
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泛半导体、光电行业：镀膜设备 Load Lock 进出料腔体前级抽气，OLED、液晶基板真空腔体排气；
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化工行业：反应罐体真空气体置换、真空干燥、物料真空脱泡、真空蒸馏提纯；
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新能源领域：电芯真空烘烤、粉体原料脱气处理；
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科研与通用工业：大型真空测试平台、热处理腔体、真空检漏系统配套。
适用介质：空气、氮气等洁净惰性气体，不适合强腐蚀、大量粉尘、高凝结性蒸汽直接排气。
四、选型对比
同系列 GR60A、GR90A、GR180 均为多级罗茨水冷干泵，极限压力一致，差异主要体现在抽速与负载能力。GR60A 适合小型腔体、低产能间歇真空工艺；GR90A 为中等抽速，中型真空干燥、小型镀膜腔体常用；
GR180 抽速*大，适合大腔体、频繁开门换气、高吞吐量连续产线。
跨品类对比：相比爱发科隔膜干泵，GR180 抽气流量更大，适合大容积腔体；对比螺杆干泵，多级罗茨结构在大气压附近抽速表现更优，腔体快速抽空时间更短，更适配 Load Lock 这类频繁大气 - 真空切换工况；缺点是不适用于强腐蚀工艺介质，强腐蚀场景建议选用 DTC 耐腐蚀隔膜干泵。
