ULVAC 爱发科多级罗茨型干泵 GR90，该产品为爱发科 GR 系列主力中型干式真空泵，依托爱发科多年半导体真空设备研发经验，在成熟 LR/HR 系列基础上优化迭代而来，兼顾稳定抽气性能与工业场景的经济性需求，是化工、泛半导体、新能源行业洁净真空工艺的优选设备。
GR90 采用多级罗茨无油干式结构，内部三叶转子反向同步旋转，转子之间、转子与泵壳保持精密间隙，全程无润滑油参与气体压缩输送，可产出无油污染的洁净真空环境，规避油雾反流污染腔体与物料的风险。该型号主打高负荷往复抽气工况，能够在大气压与真空之间反复快速抽气，50Hz 工况下*大抽速可达 112m³/h，60Hz 可达 126m³/h，极限压力 5Pa，非常适配 Load Lock 装载卸载腔体，缩短腔体抽气时间，提升产线整体吞吐量。设备搭载通用感应电机，支持多电压兼容，还可根据防爆工况需求选配防爆电机，适配不同厂区供电规范与**生产要求。
在整机运行与维护层面，GR90 配备一体化水冷恒温散热结构，有效控制泵体持续工作温升，整机振动幅度低、运行噪音小，适合连续 24 小时量产运行。泵体结构精简，零部件数量优化，降低日常维保难度，减少停机检修时长；标配轴封氮气密封接口，可进一步提升对洁净惰性气体的排气适配能力，保护内部转子组件，延长设备使用寿命。整机通过 CE **规范，法兰接口标准化设计，安装对接便捷，便于集成到各类成套真空设备之中。
该干泵适用领域广泛，化工行业可用于真空干燥、真空脱泡、罐体气体置换、真空蒸馏精制等工序；泛半导体与光电行业适配镀膜设备进出料锁腔前级抽气；新能源领域可用于电芯真空烘烤、粉体物料脱气；同时也可用于科研院校材料热处理、中型真空测试平台配套。在对真空洁净度、连续高负荷抽气有要求的生产场景中，GR90 可以稳定输出可靠真空，帮助企业保障产品良率，控制长期运维成本。