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现货!ULVAC 爱发科多级罗茨型干泵 CR60B-S

ULVAC 爱发科多级罗茨型干泵 CR60B-S,该产品属于 CR 系列 Ver.B 空冷式多级罗茨干泵,主打无油洁净真空,专为半导体、光学镀膜、化工真空干燥、理化实验室等对真空洁净度有严格要求的场景开发,无需冷却水与氮气辅助,可大幅降低项目配套基建投入,是中小产线与科研项目粗抽真空的优选机型。

核心特点

CR60B-S 采用多级三叶罗茨转子结构,泵腔内部无真空油,转子与缸体非接触式运转,从根源避免油污染工艺腔体,保障产品良率。整机为风冷设计,无需水冷管路,安装部署简单,适合缺水、厂房改造、实验室等不具备冷却水条件的工况。内置气镇机构,可抽取一定量水蒸气,适配真空干燥含水汽工艺;配备 DC 密封电机,整机轻量化、气密性优异,运行噪音低,自带消音结构改善车间作业环境。产品通过 CE、cTUVus 国际**认证,具备稳定长时间连续运行能力;维护结构简洁,易损件仅进气滤芯、轴封密封圈,现场单人即可快速完成更换,缩短停机维保时间,降低长期使用成本。

核心参数(主流型号速览)

型号 *大排气速度 极限压力 供电制式 电机功率 接口 冷却方式
CR16B 16m³/h ≤3.0Pa 单相 0.72kW KF25 空冷
CR30B 30m³/h ≤3.0Pa 单相 1.5kW KF40 空冷
CR60B-S 55m³/h ≤3.0Pa 单相 200V 3.0kW KF40 空冷
CR60B-T 55m³/h ≤3.0Pa 三相 200V 3.0kW KF40 空冷
CR300B 300m³/h ≤0.5Pa 三相 大功率 KF50 空冷

典型应用

适用于洁净空气、惰性气体的真空排气;真空干燥设备,电子元器件、医药原料、化工样品的低温真空脱水(开启气镇);半导体、FPD 行业溅射、蒸镀工艺粗抽;光学真空镀膜、理化分析仪器、真空吸附搬运装置;高校及科研院所真空实验系统。不适用于高浓度酸碱腐蚀气体、大量粉尘、强溶剂裂解气体工况,此类工况需选用防腐型干泵。

选型对比

CR60B-S 与 CR60B-T 本体抽速、极限真空完全一致,差异在供电:CR60B-S 为单相 200V 供电,适合实验室、小型设备改造、现场无三相电源场景;CR60B-T 三相 200V,适合 24 小时连续量产产线。更小流量可选择 CR16B、CR30B,适合小腔体、小真空设备;需要大抽速、更高极限真空的连续化生产线,则升级 CR300B。对比隔膜干泵,CR60B-S 排气流量更大,适合中流量粗抽场景;对比油式真空泵,无油设计杜绝油返流污染,满足洁净工艺要求。