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现货!ULVAC 爱发科多级罗茨型干泵 CR60B-T

ULVAC 爱发科多级罗茨型干泵 CR60B-T,该产品为爱发科 CR VerB 系列空冷式无油干式真空泵,主打洁净真空、连续稳定排气,适配化工、半导体、镀膜、真空干燥等中大型产线的连续生产工况,无需冷却水与氮气辅助,大幅降低工厂配套基建投入与长期运维成本,是无油真空系统优选主力泵型。

一、核心特点

CR60B-T 采用多级罗茨非接触转子结构,泵腔内部不使用真空油,从根源避免油蒸汽返流污染工艺腔体,保障制程气体洁净度。整机为空冷设计,无需外接冷却水、吹扫氮气,简化现场管路布置,减少配套设备投入;搭载 DC 密封电机,兼具节能、高气密性、轻量化多重优势,长时间连续运行泄漏风险更低。设备内置气镇机构,可处理一定量水蒸气,适配真空干燥、冻干等含水汽工艺;自带消音结构,运行噪音更低,改善车间作业环境。产品通过 CE、cTUVus 国际**认证,具备完善的运行监测能力,支持 24 小时不间断量产,维护简单,易损件仅进气滤芯、密封件,单人即可现场快速更换,缩短停机检修时长。

二、核心参数(CR 系列主流型号速览)

型号 *大排气速度 到达压力 供电类型 吸气口 整机重量 冷却方式
CR16B 16m³/h ≤3.0Pa 单相 / 三相 KF25 35kg 空冷
CR30B 30m³/h ≤0.5Pa 单相 / 三相 KF40 48kg 空冷
CR60B-S 55m³/h ≤0.5Pa 单相 200V KF50 100kg 空冷
CR60B-T 55m³/h ≤0.5Pa 三相 200V KF50 100kg 空冷
CR300B 300m³/h ≤0.5Pa 三相 200V 大口径法兰 重型 空冷



CR60B-T 与 CR60B-S 本体抽速一致,核心差异在于供电形式,CR60B-T 三相供电更适合持续量产工况,CR60B-S 适合无三相电源的实验室、小型改造项目。


三、典型应用

该泵适用于洁净空气、氮气等惰性气体抽排,广泛应用于化工真空干燥、低温冻干、实验室真空系统;半导体行业 Loadlock 腔体预抽、溅射、蒸镀等镀膜工艺;材料热处理、真空脱气、包装检漏等行业。工况限制:不适用高浓度酸碱腐蚀气体、大量粉尘、高温裂解溶剂、强污染刻蚀 / CVD 工艺,此类工况需选用水冷防腐干泵;含水汽工艺使用时,建议开启气镇并在前端加装过滤器,保护泵体。

四、选型对比

CR 系列整体为空冷小型多级罗茨干泵,对比传统油旋片泵,无油设计杜绝油污染,维护周期更长,无需定期更换真空泵油;对比螺杆干泵,CR60B-T 设备体积更小、采购成本更低,空冷方案基建投入更少,适合中等抽速洁净工艺;同系列横向选型:小体量实验室选 CR16B、中小产线选 CR30B;需要 55m³/h 抽速,车间具备三相电、24h 连续生产优先选用 CR60B-T;厂房只有单相电源则选 CR60B-S;超大流量连续镀膜、批量冻干产线,可升级 CR300B。新旧设备替换时,CR 系列采用标准 KF 法兰,管路改造工作量小,项目落地周期短。