现货!ULVAC 爱发科多级罗茨型干泵 CR60B-T
ULVAC 爱发科多级罗茨型干泵 CR60B-T,该产品为爱发科 CR VerB 系列空冷式无油干式真空泵,主打洁净真空、连续稳定排气,适配化工、半导体、镀膜、真空干燥等中大型产线的连续生产工况,无需冷却水与氮气辅助,大幅降低工厂配套基建投入与长期运维成本,是无油真空系统优选主力泵型。
一、核心特点
CR60B-T 采用多级罗茨非接触转子结构,泵腔内部不使用真空油,从根源避免油蒸汽返流污染工艺腔体,保障制程气体洁净度。整机为空冷设计,无需外接冷却水、吹扫氮气,简化现场管路布置,减少配套设备投入;搭载 DC 密封电机,兼具节能、高气密性、轻量化多重优势,长时间连续运行泄漏风险更低。设备内置气镇机构,可处理一定量水蒸气,适配真空干燥、冻干等含水汽工艺;自带消音结构,运行噪音更低,改善车间作业环境。产品通过 CE、cTUVus 国际**认证,具备完善的运行监测能力,支持 24 小时不间断量产,维护简单,易损件仅进气滤芯、密封件,单人即可现场快速更换,缩短停机检修时长。
二、核心参数(CR 系列主流型号速览)
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型号
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*大排气速度
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到达压力
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供电类型
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吸气口
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整机重量
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冷却方式
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CR16B
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16m³/h
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≤3.0Pa
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单相 / 三相
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KF25
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35kg
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空冷
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CR30B
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30m³/h
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≤0.5Pa
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单相 / 三相
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KF40
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48kg
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空冷
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CR60B-S
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55m³/h
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≤0.5Pa
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单相 200V
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KF50
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100kg
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空冷
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CR60B-T
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55m³/h
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≤0.5Pa
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三相 200V
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KF50
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100kg
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空冷
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CR300B
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300m³/h
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≤0.5Pa
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三相 200V
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大口径法兰
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重型
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空冷
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CR60B-T 与 CR60B-S 本体抽速一致,核心差异在于供电形式,CR60B-T 三相供电更适合持续量产工况,CR60B-S 适合无三相电源的实验室、小型改造项目。
三、典型应用
该泵适用于洁净空气、氮气等惰性气体抽排,广泛应用于化工真空干燥、低温冻干、实验室真空系统;半导体行业 Loadlock 腔体预抽、溅射、蒸镀等镀膜工艺;材料热处理、真空脱气、包装检漏等行业。工况限制:不适用高浓度酸碱腐蚀气体、大量粉尘、高温裂解溶剂、强污染刻蚀 / CVD 工艺,此类工况需选用水冷防腐干泵;含水汽工艺使用时,建议开启气镇并在前端加装过滤器,保护泵体。
四、选型对比
CR 系列整体为空冷小型多级罗茨干泵,对比传统油旋片泵,无油设计杜绝油污染,维护周期更长,无需定期更换真空泵油;对比螺杆干泵,CR60B-T 设备体积更小、采购成本更低,空冷方案基建投入更少,适合中等抽速洁净工艺;同系列横向选型:小体量实验室选 CR16B、中小产线选 CR30B;需要 55m³/h 抽速,车间具备三相电、24h 连续生产优先选用 CR60B-T;厂房只有单相电源则选 CR60B-S;超大流量连续镀膜、批量冻干产线,可升级 CR300B。新旧设备替换时,CR 系列采用标准 KF 法兰,管路改造工作量小,项目落地周期短。