EBARA 荏原 EV-PA500 多级非接触罗茨干式真空泵，该产品为空冷无油型干泵，主打洁净真空、低运维成本、小型轻量化，适配实验室、分析仪器、半导体后端、化工轻腐蚀工况等场景，是油回转泵、涡旋泵的**升级替代方案。

核心特点

1. 全干式无油结构：采用无齿轮、非接触罗茨转子设计，腔体内部不使用润滑油，无碳氢油返污染，保障真空腔体洁净，不会对样品、工件造成油污污染，满足洁净工艺需求。
2. 空冷免水冷：整机空气冷却，无需外接冷却水，现场仅需供电即可运行，简化管路配套，适合实验室、洁净车间、小型设备集成场景。
3. 宽电压单相供电：支持单相 100~240V 宽电压输入，国内 220V 市电直接使用，无需三相电源，50Hz/60Hz 工况下抽气性能保持稳定。
4. 低噪长寿命：运行噪音仅 58dB (A)，机身轻量化设计，净重 21kg，自带搬运提手，台式摆放方便移动；非接触转子无磨损，密封件无需定期更换，大幅降低维保频次与停机时间。
5. 智能监控与气镇设计：标配内置气镇阀，可排出可凝性水蒸气，适配含水汽工况；自带操作面板，支持 RS485 通讯、远程 I/O 启停、故障报警输出，可接入 PLC 实现自动化监控；产品具备 CE、SEMI-S2、NRTL 认证，满足海内外设备配套规范。

核心参数（主流型号速览）

典型应用

化工领域：真空脱泡、物料干燥、实验室真空反应、微量水汽工况抽气； 仪器分析：质谱仪、扫描电镜、X 射线分析设备、氦检检漏系统； 半导体及新能源：半导体后端封装、电池注液、真空除气； 其他行业：食品医药冻干、小型镀膜、科研院所真空实验。

备注：该机型适用于轻度腐蚀、无大量强腐蚀性气体工况；处理强腐蚀介质，建议选配氮气吹扫组件。

选型对比

EV-PA250 适合小抽速需求，体积更小、重量更轻，适合小型分析仪器、微量脱泡；EV-PA500 抽气速率更高，在相同真空度下排气能力更强，适合需要更大排气量、连续处理水汽的真空系统。对比传统油回转真空泵，EV-PA500 无油雾排放，不用定期更换真空泵油，运维成本更低；对比涡旋干泵，其极限真空更优，支持通讯远程监控，适合自动化设备集成。本系列均为单相供电，无需水冷，适合空间有限的台面式安装；如果是大流量、重度化工腐蚀工况，则需要选用荏原大型工业干泵系列。