EBARA 荏原 EV-PA500 空冷干式真空泵，该款为多级非接触罗茨结构无油干泵，主打洁净真空、低维护、轻量化设计，广泛适配化工分析、实验室、半导体后端等轻腐蚀、中小抽速真空工艺场景，替代传统油回转泵、涡旋泵，解决油污污染、维护频繁的痛点，是洁净真空工况优选小型干式真空设备。

核心特点

1. 全干式无油结构：无润滑油腔体，不存在碳氢油返油，保障真空腔体洁净，避免样品、工件被油雾污染；转子非接触运转，无齿轮油，密封件无需定期更换，大幅降低维保工作量。
2. 空冷设计，安装便捷：采用空气冷却，无需外接冷却水，现场仅需供电即可投产；单相宽电压 100~240V，国内 220V 市电直接使用，50/60Hz 频率下抽气性能稳定。
3. 小巧轻便低噪音：整机重量仅 21kg，配备手提把手，可直接放置工作台，无需复杂固定底座；运行噪音 58dB (A)，适合实验室、洁净车间等对噪音敏感的环境。
4. 智能监控与工艺适配：标配气镇阀，可排出工艺中少量水蒸气；自带操作面板，支持 RS485 通讯、远程 I/O 启停、故障报警输出，可接入 PLC 实现自动化监控；拥有 CE、SEMI-S2、NRTL 认证，满足海外设备配套要求。

核心参数（主流型号速览）

典型应用

化工领域：化工样品脱气、真空干燥、实验室真空反应、溶剂除气； 分析仪器：质谱仪、扫描电镜、X 射线分析设备、氦检检漏系统前级真空； 半导体与新能源：半导体后端封装、电池注液、材料真空烘干； 其他行业：镀膜、食品冻干、科研实验室、精密检测设备配套。

注：本泵适合轻度水汽、弱腐蚀气体工况，强腐蚀工艺需选配氮气吹扫组件。

选型对比

EV-PA500 对比同系列 EV-PA250，抽速更大，适合需要更高排气量的中小腔体真空，两台均为单相空冷、免维护结构；对比油式真空泵，EV-PA500 无油雾污染，不用定期更换真空泵油，运维成本更低，但不适合处理大量强腐蚀、高粉尘工况；对比涡旋干泵，荏原 EV-PA500 连续运行稳定性更强，MTBF 更长，支持工业自动化通讯，更适合 24 小时不间断生产配套。如果工况抽气量偏小，可选用 EV-PA250；若工艺含大量强腐蚀气体，则建议选用耐腐蚀专用干泵。