成为连接全球半导体资源 与国内终端需求的核心桥梁
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在半导体制造工艺以及对洁净度要求极高的FPD、LED和太阳能电池制造工艺中，干式真空泵是不可或缺的设备。近年来，由于其能够轻松地为质谱仪和电子显微镜等分析仪器提供洁净的排气，干式真空泵的应用范围不断扩大。此外，其洁净的真空环境和便捷的维护特性也使其在真空干燥和薄膜沉积等各种应用中得到越来越广泛的应用。