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  • ULVAC 爱发科多级罗茨型干泵 RDA-501H

    ULVAC 爱发科多级罗茨型干泵 RDA-501H,该产品为爱发科 RDA 系列主力干式真空设备,采用六级多级罗茨串联排气结构,依托三叶转子间隙式旋转完成气体输送,属于无油干式真空泵,专为化工、半导体、镀...

  • ULVAC 爱发科多级罗茨型干泵 RDA-281H

    ULVAC 爱发科多级罗茨型干泵 RDA-281H,该款干式真空泵依托多级罗茨串联结构,实现无油洁净抽气,专为化工、电子、实验室等对真空洁净度有严格要求的工况开发,兼顾大抽速、紧凑体积与稳定耐水汽能力,是替...

  • ULVAC 爱发科多级罗茨型干泵 ES4A

    ULVAC 爱发科多级罗茨型干泵 ES4A,该款属于 ECO-SHOCK 系列干式真空泵,无油式多级罗茨结构,专为化工、半导体、真空工艺场景打造,可作为罗茨增压机组配套前级泵,实现节能化稳定真空抽取,是中大型真空...

  • ULVAC 爱发科多级罗茨型干泵 ES10

    ULVAC 爱发科多级罗茨型干泵 ES10,该泵属于 ECO-SHOCK 系列小型干式真空泵,专为洁净气体抽真空场景打造,采用多级罗茨无油干式结构,泵腔内部无需润滑油,从根源上杜绝油蒸气污染,满足半导体、精...

  • 现货!ULVAC 爱发科RS系列专用排气消音器套件

    ULVAC 爱发科多级罗茨型干泵 RS 系列专用排气消音器套件,该产品为爱发科多级罗茨干泵配套专用降噪组件,适配 LR、GR、LS 等主流多级罗茨干泵机型,可直接安装在干泵排气端,有效解决干式真空泵运行...

  • 现货!ULVAC爱发科 CR300B 多级罗茨型干泵

    CR300B是ULVAC爱发科CR系列中抽速*大的风冷罗茨型干式真空泵,核心定位为大腔体、高洁净度要求的工业级真空场景,兼顾无油洁净排气与低运行成本优势。 核心参数与优势:*大抽速300m³/h(5000L/...

  • ULVAC爱发科 CR60B-T 多级罗茨型干泵

    型号:CR60B-T CR60B-T 是 ULVAC 爱发科 CR 系列 Ver.B 空冷式多级罗茨型干泵,泵头内部无油,转子与气缸非接触运行,可长时间稳定排气,不需要冷却水和氮气,适合洁净气体真空排气、真空干燥...

  • ULVAC爱发科CR60B-S多级罗茨干泵

    作为日本ULVAC爱发科CR Ver.B系列的标准风冷机型,CR60B-S是专为洁净真空场景设计的中大型干式真空泵,核心解决传统油式真空泵油雾污染、管路繁杂、运维成本高的痛点。 它采用多级三叶罗茨非...

  • ULVAC爱发科 CR30B 多级罗茨型干泵

    产品核心定位 ULVAC爱发科CR30B是专为中高真空场景设计的风冷多级罗茨干式真空泵,主打无油洁净、空冷节能、稳定耐用三大核心优势,是电子、镀膜、真空干燥等领域中高真空段的主力机型,平衡...

  • ULVAC爱发科 CR16B 多级罗茨型干泵

    产品概述 ULVAC爱发科CR16B是获得CE、cTUVus国际标准认证的空冷式多级罗茨型干泵,泵腔内无油、转子与气缸非接触运行,无需冷却水和氮气,适配空气、惰性气体等洁净气体排气,以及溅射、蒸发...

  • ULVAC爱发科 GR180 多级罗茨型干泵

    GR180(GR180A)是爱发科 GR 系列多级罗茨型干式真空泵中的大流量机型,适合通用工业真空场景中需要大流量、洁净排气、频繁大气—真空切换的工况。它不是面向高腐蚀、高污染工艺的重载干泵,而是更偏稳...

  • ULVAC爱发科 GR60 多级罗茨干泵

    这款泵是爱发科GR系列里*紧凑的小规格型号,专门针对中小型真空设备的高负荷工况设计,核心优势是“无油洁净+耐频繁启停”。 它的核心参数如下: 50Hz下抽速62m³/h,60Hz下...

  • FLUORO 福乐 C002-D-X-103 防静电真空吸笔

    FLUORO 福乐 C002-D-X-103 属于 C 系列常开 NO 型 ESD 导电真空吸笔,日本原装,现货库存,是半导体干式无尘狭小腔体、探针台、机台内部近距离连续拾取晶圆与精密元件的专用负压拾取工具。搭载 360° ...

  • FLUORO 福乐 C002-D-X-106 防静电真空吸笔

    FLUORO 福乐 C002-D-X-106 属于 C 系列常开 NO 型 ESD 导电真空吸笔,日本原装,现货库存,主打干式无尘狭小腔体、探针台工位的连续循环取料。自带 360° 球状万向旋转接头,106mm 短杆...

  • FLUORO 福乐 C002-D-X-100 防静电真空吸笔

    FLUORO 福乐 C002-D-X-100 属于 C 系列常开型 ESD 导电真空吸笔,日本原装,现货库存,干式无尘狭小腔体、探针台工位精密元件连续拾取专用工具。搭载 360° 球状万向接头,笔杆短巧,适合设备内部...

  • FLUORO 福乐 C002-D-Y-161-99 防静电真空吸笔

    FLUORO 福乐 C002-D-Y-161-99 属于 C 系列一体式常开型 ESD 导电真空吸笔,日本原装,现货库存,出厂预装 99 号大平面导电 PEEK 吸嘴,专门用于干式无尘车间大面积薄晶圆、大尺寸陶瓷基板的连续取放作...

  • FLUORO 福乐 C002-D-Y-161 防静电真空吸笔

    FLUORO 福乐 C002-D-Y-161 属于 C 系列常开型 ESD 导电真空吸笔,日本原装,现货库存,是半导体干式无尘车间晶圆盒深处取片、产线连续循环转运晶圆与精密基板的手动负压拾取工具。该型号采用加长...

  • FLUORO 福乐 C002-Y-98-CP 防静电真空吸笔

    FLUORO 福乐 C002-Y-98-CP 属于 C 系列一体式防静电真空吸笔,日本原装,现货库存,干式无尘产线通用型晶圆与精密基板拾取工具,出厂预装 98-CP 导电 PEEK 吸嘴,开箱即可搭配真空管线使用。 型...

  • 涡旋型干泵的原理

    什么是涡旋型干泵? 涡旋型干泵的外观如图所示。 涡旋型干泵的外观 涡旋型干泵是通涡旋定子和转子的运动来排气的干...

  • 什么是螺杆型干式真空泵?

    平行的两个螺杆转子与壳体的内壁之间保持轻微间隙的状态下旋转,转子与壳体之间形成的空间沿轴向连续地传递。 气体从进气口被吸入空间内,在将其传送到排气侧以进行排气的过程中被...

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