VMR 系列代表机型 VMR‑050，属于集成式小型罗茨增压真空排气单元，将罗茨机械增压主泵、VD200 油旋片前级泵、连接管路、减震底座、时序电控单元整合为单台整机，不需要用户自行搭配机架、配管，通电即可完成从大气压到高真空全自动抽气，主打实验室、小型工艺设备紧凑型高真空排气场景。
整机结构
1. 罗茨增压主泵：机械增压罗茨泵，负责中高真空区间提升抽速；
2. 油旋片前级泵 VD200：承担大气压至中真空粗抽，为罗茨泵提供前置背压；
3. 内置管路与减震组件：出厂完成管路对接，自带减震缓冲结构，降低整机振动传递；
4. 时序电气控制盒：内置压差联锁、热过载保护逻辑，实现一键自动启停，管控两台泵启停顺序，防止罗茨泵误启动损坏；
5. 底座机架：一体化承载基座，整机空冷结构，无需外接冷却水。
工作原理
开机后油旋片前级泵率先启动，直接对腔体做粗抽，把腔体从大气压抽至中真空区间。当压力下降到设定阈值，电控联锁触发罗茨增压泵投入运行。罗茨泵转子无接触啮合，大幅提升中低压段抽气能力，弥补油旋片泵在高真空下抽速衰减问题，两级协同持续向下抽至极限真空。
机组自带压力联锁保护，压力不达标时罗茨泵不会启动，避免背压过高造成泵体过载损伤，停机程序自动执行泄压，防止泵油倒灌返流至真空腔体。
核心参数（VMR‑050）
极限真空：4.0×10⁻²Pa
罗茨泵抽速：833L/min（100Pa 工况）
前级泵抽速：200L/min
进气法兰：VG‑40
冷却方式：空气自然冷却
电源：单相 100‑120V /200‑240V，1.5kVA
整机尺寸：241.4mm (W)×534.5mm (D)×399mm (H)
整机重量：42kg
工作环境温度：7‑40℃ULVAC SHOW...
产品特点
一体化成套出货，省去现场配管、组装调试，减少系统搭建工时；
一键全自动运行，内部时序自动管控，无需人工分步操作；
空冷设计，不用外接冷却水，实验室台面、通风橱内可直接摆放；
中低压区间抽速表现突出，相比单台油旋片泵，抽气时间大幅缩短；
内置热保护、压差联锁，具备过载、异常工况防护；
整机体积小巧重量轻，适配设备集成，不占用大量场地；
维护简单，仅需定期更换真空泵油，零部件通用度高。
适用场景
高校科研实验室真空腔体、小型电子束蒸发、离子试样镀膜；
小型氦检设备、元器件微泄漏密封性检测；
材料实验、试样热处理、真空脱气；
小型分析仪器配套真空系统，研发类小腔体高真空获取。
使用注意点
只适配洁净干燥空气，不可直接抽吸腐蚀性气体、大量粉尘、可凝性蒸汽；
介质含有水汽、溶剂气体，需要前端增加冷阱、过滤装置；
必须使用对应规格真空泵油，油品劣化会直接影响极限真空；
不适合大腔体量产产线，定位偏向小型腔体、研发实验工况。