ULVAC 爱发科多级罗茨型干泵 RDA-501H
ULVAC 爱发科多级罗茨型干泵 RDA-501H，该产品为爱发科 RDA 系列主力干式真空设备，采用六级多级罗茨串联排气结构，依托三叶转子间隙式旋转完成气体输送，属于无油干式真空泵，专为化工、半导体、镀膜、精密分析等需要洁净真空环境的工况打造，兼顾高抽速、紧凑体积与稳定的宽压力区间运行能力，是替代传统油旋片泵的优选升级方案。
核心特点
RDA-501H 全程无油运行，从根源消除真空油返流、油雾污染问题，保障真空腔体洁净度，避免工艺产品被油污污染。泵体内部无滑动摩擦部件，转子依靠微小间隙运转，机械损耗低，整机使用寿命更长，降低停机检修频次。设备支持从大气压直抽至高真空区间，全压力范围稳定运行，无需额外配置前级泵，简化整套真空系统布局。具备优异的水蒸气耐受能力，*大水汽吸入量可达 300g/h，可适配含水汽工艺工况；采用空冷结构，无需外接冷却水，现场管路布置更简单。电源兼容性强，单台机型同时适配单相、三相供电，适配国内不同车间供电条件；内置消音结构，低振动低噪音，自带运行计时表，方便运维人员管控保养周期，整机符合 RoHS 环保标准。
核心参数（主流型号速览）
|
项目
|
参数
|
|
产品型号
|
RDA-501H
|
|
有效排气速度
|
500L/min（50Hz/60Hz）
|
|
极限压力（F.A 关闭）
|
≤8.0×10⁻²Pa
|
|
极限压力（F.A 开启）
|
≤6.0Pa
|
|
电机功率
|
720W
|
|
吸排气接口
|
KF-25
|
|
整机重量
|
38kg
|
|
外形尺寸
|
180(W)×520(L)×377(H)mm
|
|
允许环境温度
|
5~40℃
|
|
*大水汽吸入量
|
300g/h
|
|
供电规格
|
单相 100~115V/200~240V；三相 200~240V
|
典型应用
1. 半导体与 FPD 行业：薄膜沉积、蚀刻工艺配套，涡轮分子泵 TMP 前级真空泵；
2. 真空镀膜行业：光学镀膜、溅射、蒸镀设备洁净抽真空；
3. 分析检测设备：氦质谱检漏仪、质谱仪器、电子显微镜真空源；
4. 化工领域：气体回收、真空脱气、真空干燥、小型真空蒸馏；
5. 精密装备：实验室真空装置、真空包装、各类工艺设备集成内置真空单元。
选型对比
同系列 RDA-281H 与 RDA-501H 均为六级多级罗茨干泵，基础结构一致。RDA-281H 抽速偏小，适合小腔体、低流量分析仪器、小型检漏设备；RDA-501H 拥有 500L/min 大抽速，在腔体容积更大、排气量需求更高、水汽负荷较重的场景更具优势。对比隔膜干泵，RDA-501H 抽速更大、极限真空更高，适合中大型工艺真空；对比螺杆干泵，RDA-501H 体积更小巧、重量轻，更适合设备内置集成，不过处理大量粉尘、强腐蚀性气体工况时，需配套前置过滤、防腐气路组件。该泵为室内专用机型，不建议直接用于室外或大量粉尘、强腐蚀气体直抽场景，选型时可根据工艺气体成分、水汽量、腔体大小做配套方案调整。
