Edwards（埃地沃兹 / 爱德华真空）公司简介

一、基本信息

• 公司名称：Edwards Vacuum（埃地沃兹贸易（上海）有限公司）
• 中文俗称：爱德华 / 埃地沃兹
• 创立：1919 年（英国伦敦，创始人 F. D. Edwards）
• 集团归属：2014 年正式并入瑞典 Atlas Copco 集团（真空解决方案事业部）
• 总部：英国 West Sussex，Burgess Hill
• 全球规模：73 个国家、120 个网点、8 大生产基地、员工 8,000+
• 核心市占：半导体干式真空泵全球约 40% 份额，世界**
• 中国总部：上海（埃地沃兹贸易（上海）有限公司）
• 定位：半导体真空 + 尾气处理双料**、全谱系真空设备巨头

二、发展沿革（关键节点）

• 1919 年：英国物理学家 F. D. Edwards 创立，早期面向实验室真空应用
• 1939 年：二战期间开始自研自产真空泵
• 1950–1990 年：更名 Edwards High Vacuum，拓展工业真空、冻干、科研市场
• 1997 年：与 BOC 电子气体部门合并为 BOC Edwards，进入半导体主流供应链
• 2007 年：独立运营，专注半导体真空与尾气处理
• 2014 年：被瑞典 Atlas Copco 集团收购，强化全球制造与服务网络
• 近年：深耕3nm/2nm 先进制程、第三代半导体（SiC/GaN）、OLED/mini‑LED、光伏 / 锂电真空与除害系统

三、四大核心业务

1）半导体干式真空泵（**主力，全球**）

• 多规格干泵：iXL、iXH、nX、GX 系列，覆盖刻蚀、CVD、PVD、ALD、离子注入、清洗全制程
• 高洁净耐腐蚀：SEMI Grade 1，耐受HF、Cl₂、氟化物等强腐蚀气体
• 能效与可靠性：长寿命、低维护、低颗粒，台积电、三星、英特尔、中芯国际、长江存储核心供应商

2）尾气处理系统（Abatement，全球**）

• 燃烧 / 水洗 / 干法除害：处理半导体工艺有毒、易燃、腐蚀性废气
• 全球装机 10,000+ 套，半导体 fab 标配，节能、低排放、高**性

3）全谱系真空设备（工业 + 科研）

• 分子泵、涡轮泵、低温泵、离子泵：超高真空（UHV）应用
• 旋片泵、罗茨泵、螺杆泵、液环泵：工业粗 / 中真空
• 氦质谱检漏仪、真空计、MFC、真空阀门：真空测量与控制
• 科研 / 高能物理：欧洲核子中心（CERN）、太空模拟、核聚变装置真空系统

4）服务与再制造（高附加值）

• 全球维保网络：24/7 技术支持、现场维护、备件供应
• 再制造中心：中国武汉、韩国、美国等地，干泵翻新、降本、环保

四、技术与核心优势

• 干泵全球垄断级地位：40%+ 市占，半导体先进制程不可替代，与ULVAC、EBARA形成全球三强（Edwards *强）
• 真空 + 除害一体化：**同时提供干泵 + 尾气处理完整方案的巨头，一站式交付、系统匹配*优
• 百年真空技术积累：1,700+ **，覆盖从低真空→高真空→超高真空全技术路线
• 英系精密制造 + 北欧管理：继承英国精密基因 + Atlas Copco 高效运营，稳定性、一致性、寿命行业标杆
• 全球半导体产业链深度绑定：
  • Edwards：干泵、尾气处理、真空系统
  • ULVAC（爱发科）：成膜设备、分子泵、靶材
  • EBARA（荏原）：干泵、CMP、流体机械
  • 旭有机材 / PILLAR：高纯配管 / 接头
    → 共同构成半导体高洁净真空‑流体‑除害完整生态

五、企业理念

六、一句话总结