Orientalmotor东方马达五相步进电机核心优势（半导体专用）
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步距角 0.72°（两相 1.8°），精度更高、运动更顺滑
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低振动、低抖动，不会划伤晶圆、芯片
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低速力矩大，启停平稳，无丢步
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发热量低，适合洁净室、真空周边设备
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体积紧凑，法兰尺寸小，适配狭小设备空间
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可加装电磁刹车，断电自锁，防止晶圆掉落、治具下滑
三、半导体*常用型号（直接选型）
1. PK564NAW（行业爆款，60 法兰）
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法兰：60mm
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扭矩：0.85 N・m
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用途：探针台、固晶机、视觉对焦、微小位移轴
2. PK566NAW（60 法兰，中扭矩）
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扭矩：1.4 N・m
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用途：晶圆载具移动、中等负载三轴平台
3. PK596NAW（85 法兰，大扭矩）
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扭矩：3.1 N・m
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用途：FOUP 升降、龙门搬运、重负载定位
4. 带刹车型号（断电自锁，**必备）
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PK564NAW‑B
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PK566NAW‑B
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PK596NAW‑B
四、配套专用驱动器（必须配对）
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CRD503‑K：标准五相驱动器，DIN 导轨安装，半导体设备柜*常用
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RKSD503‑C：经济型五相驱动
五、半导体典型应用场景
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探针台 X/Y/Z 三轴精密定位
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固晶机、键合机 芯片对位、焊线移动
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晶圆盒 FOUP 升降、开关门、载具平移
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视觉系统相机对焦、微调平台
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真空设备内部精密驱动
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封装、测试设备精准走位
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Orientalmotor东方马达五相步进电机