HR600 属于组合式多级罗茨干式真空泵，由 HR90 主机搭配 PRC‑006A 机械增压单元组成。
电机驱动多组同步反向旋转的三叶罗茨转子，气体依次进入多级串联泵腔，依靠容积变化逐级压缩，再经过增压单元进一步提升抽气能力，气体直接压缩后排向大气，不需要额外配前级泵。
转子运转相互不接触，泵腔内不使用润滑油，不会出现油雾返流污染腔体。泵体维持高温均热状态，让刻蚀、CVD 产生的升华副产物保持气态随气流排出，减少盐类、粉尘冷凝堆积。
各级泵腔与轴封通入氮气吹扫，形成气幕隔离卤素、腐蚀性工艺气体，降低转子、密封件被腐蚀损耗。整机可 24 小时连续运行，适配半导体设备反复抽气、复压的工艺工况。
