HR600 是爱发科面向 8–12 英寸半导体量产制程开发的大型组合式多级罗茨干式真空泵，整机由HR90 多级罗茨主机 + PRC‑006A 大流量机械增压单元集成而成。区别于常规螺杆干泵，该机采用多级容积压缩 + 全域高温均热防腐 + 分段氮气气幕防护三位一体工作机制，无需前级泵、可大气压直排大气，专门适配刻蚀、CVD、ALD 等易产生升华粉尘、卤素腐蚀气体的严苛工艺。
一、整体结构工作逻辑
HR600 采用前置增压 + 多级串联压缩的双级结构布局：前段 PRC‑006A 增压单元负责大流量快速抽气，大幅提升低真空区间抽速；后段 HR90 多级罗茨主机完成逐级精密压缩，实现高真空稳定输出。
整机全程无油干式运转，转子无接触摩擦、无润滑油参与，从根源杜绝油雾返流污染晶圆腔体；搭配水冷恒温、高温均热腔体、分段氮气吹扫、屏蔽密封电机四大核心结构，形成洁净、防腐、防积粉、抗波动的完整真空排气系统。
二、核心容积压缩原理（真空生成原理）
设备电机通过同步齿轮驱动多组三叶罗茨转子反向同步高速旋转，转子与转子、转子与泵腔之间保持精密微小间隙，全程无接触、无磨损运转。
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进气容腔扩容：转子旋转打开进气口，工艺腔体气体被封闭在转子与泵壳的密闭容腔内；
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逐级容积压缩：气体随转子转动输送至下**泵腔，多级腔体容积逐级递减，实现连续分级低压压缩；
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增压强化排气：前端 PRC 增压单元提前对大流量气体预压缩，解决多级罗茨泵大流量工况抽速瓶颈；
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常压排出大气：多级压缩叠加增压单元做功，将气体直接压缩至常压排出，无需搭配任何前级真空泵，简化真空系统架构。
整套压缩过程为纯机械式容积输送，无压缩死区、抽气稳定性高，极限真空可达0.67Pa，**匹配半导体工艺高低压交替、频繁复压抽气的工况。
三、高温均热防沉积核心原理（HR 系列独有技术）
这是 HR600 区别于普通干泵的核心关键原理。
设备利用转子连续压缩产生的热能，配合水冷均热温控系统，让整泵各级腔体维持均匀高温稳态。
刻蚀、CVD 工艺产生的硅化物、金属氯化物、升华粉尘等易凝副产物，在常规干泵低温腔体内极易降温结垢、粘附转子造成卡泵；而 HR600 通过全域高温环境，让所有工艺副产物全程保持气态，随气流直接排出泵体，彻底杜绝腔内积粉、结晶、堵泵问题，大幅降低拆机清洁与停机维护频次。
四、氮气分段吹扫防腐防护原理
针对半导体卤素腐蚀气体工况，HR600 搭载多级独立氮气吹扫系统，覆盖轴封、各级泵腔、气镇结构：
通过通入恒定高纯氮气，在转子端面、密封间隙形成动态气幕隔离层，有效阻隔腐蚀性工艺气体接触转子、轴承、密封件等核心精密部件；同时稀释泵腔内残留腐蚀介质与微量可凝气体，弱化腐蚀损耗，显著延长核心部件使用寿命，保障设备长期 24h 连续量产稳定性。
五、屏蔽电机与电气保护原理
整机采用氦密封屏蔽式密闭电机，全封闭结构可有效阻断工艺气体外泄，满足半导体厂房高**防爆标准；内置1000ms 级瞬停保护机制，针对厂区电网瞬时波动、短时断电，可实现平稳续转、规避紧急停机、转子抱死、工艺断档等故障。
配套智能电控系统实时监测泵体温度、压力、冷却水流量、吹扫气状态，异常自动报警、保护性停机，保障设备与产线工艺**。
六、完整工作流程总结
设备启动→增压单元预抽大流量气体→多级罗茨转子逐级容积压缩→泵腔高温均热保持副产物气态→氮气气幕防腐隔离→洁净气体直排大气→电控系统实时温控、故障防护→持续稳定输出高洁净真空。
七、原理对应的工况优势
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多级压缩 + 前置增压：大抽速、高极限真空，适配大型半导体腔体快速抽气；
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全域高温均热：解决升华粉尘、可凝介质结垢卡泵痛点，适配刻蚀、CVD 核心制程；
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无油干式结构：零油污染，满足晶圆、精密器件超高洁净工艺要求；
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分段氮气吹扫：耐受弱 / 中度腐蚀气体，量产稳定性远超普通螺杆干泵；
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直排大气设计：无需前级泵，系统结构精简、故障率低、运维成本更低。
