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ULVAC 爱发科 RS‑01 干式真空泵消音器技术文章

RS‑01 是适配多级罗茨干式真空泵的专用排气消音配件,属于真空系统后处理附件,直接安装于干泵排气口,针对干泵排气气流噪声做衰减处理,改善厂房、实验室作业噪音环境,拥有多套件版本,适配 CR、GR、LR 系列多款中小型干式真空泵,仅适合洁净气体工况,不可直接处理腐蚀性、含大量粉尘的工艺废气。

整机结构

- 筒体主体:金属筒体结构,内部搭载多级阻抗复合消音腔体,内部吸音结构抗气流冲刷,不易粉化脱落,不会产生碎屑回流污染管路。 ‑NW40 卡箍快装接口,依靠卡箍 + O 型圈完成密封对接,拆装便捷,无需额外焊接作业。 ‑分多套件配置:套件 A、套件 B、套件 C、套件 D,不同套件搭配卡箍、O 型座、配管、支架,对应不同型号干泵,直接选配套件即可现场装配,不用额外采购连接件。 ‑底部预留排污结构,可收集少量冷凝积水,便于定期排放。

工作原理

干式真空泵高速排出脉动气流,气流冲击、压力脉动会产生较高排气噪声。RS‑01 采用阻抗复合消音原理,高压脉动排气进入消音器筒体内部,气流经过扩容腔体、吸音衰减层,改变声波传播路径,反射、消耗声能,降低排气脉动噪音;同时维持排气通路通畅,不会造成背压升高,避免真空泵抽速、极限真空性能受损。 设备只做噪声衰减,不具备气体过滤、废气处理功能,无法去除腐蚀性介质、粉尘。

核心性能参数

接口规格:NW40 整机重量:约 4.1kg 降噪效果:50Hz,无消音器 81dB (A),加装后 70dB (A),降噪 11dB;60Hz,无消音器 88dB (A),加装后 69dB (A),降噪 19dB 适配泵型:CR16B、CR30B、CR60B‑S、CR60B‑T、GR60A、GR90A、LR60、LR90、LR300 等中小型多级罗茨干式真空泵 适用介质:洁净空气、氮气等惰性气体 工作温度:排气侧常规工况温度,不可长期通入高温腐蚀性废气

产品核心优势

1. 卡箍快装结构,拆装简单,配套完整套件,现场快速完成与真空泵排气口对接。 2. 阻抗复合式消音,降噪效果突出,60Hz 工况降噪可达 19dB,明显降低车间排气噪音。 3. 通流截面充足,不会带来明显背压,不影响真空泵抽速与真空性能。 4. 筒体结构稳固,内部吸音材料耐气流冲刷,不易掉屑,不给真空系统引入二次污染物。 5. 多套件区分,覆盖多款中小型罗茨干泵,选型匹配方便。

典型应用场景

半导体 Load‑Lock 腔体干泵排气降噪; 镀膜设备中小型干式真空泵排气降噪; 实验室真空设备噪声改善; 科研、中试产线真空系统环境优化。

使用注意事项

本机仅做消音,无过滤、废气净化能力,处理含粉尘、腐蚀气体工况,前端必须增设过滤、废气处理装置,粉尘进入消音器内部会堵塞腔体,造成背压上升,影响真空泵性能。 只允许洁净空气、氮气工况,禁止直接通入卤素、强腐蚀介质。 定期打开底部排污口,排掉内部冷凝积水;长期使用检查内部是否积灰堵塞,堵塞后及时维护清理。 必须选用对应型号套件,接口、支架匹配对应真空泵,不可强行改装适配其他泵型。 不可封堵消音器排气出口,排气受阻背压升高,会造成真空泵故障。