ULVAC 爱发科多级罗茨型干泵 GR60，该款产品源自爱发科成熟的 LR 系列干泵技术平台，面向化工、镀膜、新材料等通用工业场景开发，是一款紧凑型水冷无油干式真空泵，可稳定完成大气压至低真空区间的连续抽气作业，专为需要频繁破空、循环抽真空的产线工况打造，为用户提供洁净、可靠、运维简便的真空获取解决方案。

在核心技术与原理层面，GR60 采用多级罗茨无接触压缩结构，泵腔内部不使用润滑油，转子与泵体无机械摩擦，从根源上杜绝油雾反流污染工艺腔体，保障真空环境洁净度。整机搭载 2.2kW 工业感应电机，支持多电压适配，可兼容国内工业供电规格，同时可按需选配防爆电机，满足化工防爆区域的使用规范。产品极限压力可达 5Pa，50Hz 工况下抽速 62m³/h，60Hz 工况抽速 80m³/h，水冷冷却设计保障长时间高负荷运行下的温度稳定，标配轴封氮气吹扫结构，可有效保护内部转子组件，降低水汽、微量粉尘对泵体的侵蚀，延长设备使用寿命。

产品核心优势突出，首先是强循环耐受能力，针对装载锁腔 Load Lock 这类频繁大气 - 真空切换的场景优化，能够承受反复破空带来的高负荷冲击，缩短腔体抽气等待时间，提升整条产线的生产吞吐量。其次是运维成本可控，依托成熟架构简化内部结构，零部件模块化设计，损耗件可单独更换，现场维保操作便捷，无需整机返厂大修，大幅减少停机时间。无油设计也省去废油收集、更换、危废处理等工作，降低长期运营成本。整机结构紧凑，自重较轻，占用空间小，配套 VG50 吸气法兰与 NW40 排气法兰，方便接入各类真空管路系统，安装调试简单。

在应用场景方面，ULVAC 爱发科 GR60 多级罗茨干泵广泛适用于化工行业真空干燥、真空脱泡、真空气体置换、惰性气体填充等工艺；同时适配镀膜设备装载腔排气、新材料研发、真空包装、冷媒灌注、实验室真空装置等领域。主要用于空气、惰性洁净气体的抽排作业，是中小型真空系统粗抽环节的优选设备。无论是化工新材料生产线，还是精密镀膜、科研实验装置，GR60 都可以提供持续稳定的真空动力，兼顾性能、成本与运行稳定性，适配国内多行业中小型真空产线的升级改造与新项目配套需求。