YMV‑12A 属于 YMV 系列分离式机架单元，本身不含罗茨增压泵、油旋片主泵，是一套标准化成套机架配管总成，用于组装机械增压罗茨泵与 VS 系列油回转前级泵，面向工业量产产线搭建大抽速罗茨真空排气系统，泵体需要另行选配采购ULVAC SHOW...。

整机结构组成

1. 分离式金属机架底座：罗茨泵、前级泵采用相互独立承载支架，底部配置移动脚轮与水平调节地脚，方便现场移位与水平校准。 2. 预制波纹管管路组件：出厂装配好真空波纹管、连接法兰，吸收泵运行振动，抑制振动向腔体传导，减少现场配管焊接工作量。 3. 预留安装接口：罗茨泵安装位适配 PMB600D、PMB1200D 机械增压泵，前级泵位适配 VS1501、VS2401 油回转真空泵ULVAC SHOW...。 4. 选件预留点位：可加装独立选购的控制盘、油雾过滤器、延迟真空电磁阀、端子盒、冷却水流量开关、变频器大气压驱动模块，实现完整机组功能ULVAC SHOW...。

工作原理

机架单元只提供机械承载、管路连接，整套真空排气逻辑由选配的罗茨增压泵与油旋片泵配合完成。 油回转前级泵先执行粗抽，把工艺腔体从大气压抽至中真空区间，系统压力达到阈值后，罗茨机械增压泵投入运行，放大中低压工况抽气速率，两级协同向下获取高真空。 机架内部波纹管缓冲两台泵运行产生的振动，独立支架结构，维护前级泵时无需拆卸主真空管路，直接完成泵体检修换油作业，不扰动上游工艺腔体管路状态ULVAC SHOW...。

适配组合参考

可搭配组合一：罗茨泵 PMB600D + 油旋片泵 VS1501 可搭配组合二：罗茨泵 PMB1200D + 油旋片泵 VS2401 50Hz 工况整机抽速区间 850‑1000m³/h，60Hz 可达 1000‑1200m³/h，依靠选配泵体决定极限真空指标。

产品核心特点

1. 分体独立支架设计，前级泵维护无需拆解主真空管道，量产产线检修停机时间缩短，设备运维便捷。 2. 出厂预装波纹管，缓冲泵体振动，降低振动传递到真空腔体，减少镀膜、热处理工艺抖动带来的**。 3. 模块化拓展，可按需追加电控盘、油雾捕捉器、变频驱动、延时电磁阀等配件，不用现场改造机架本体。 4. 脚轮 + 调节地脚兼顾移动搬运与设备稳固锁止，方便车间设备移位、改造、产线搬迁。 5. 面向大批量连续生产工况，区别实验室一体式机组，方便后期泵单独更换升级，机架可以继续复用。 6. 机架本体不包含泵体，采购时增压泵、前级泵、控制配件需要单独下单配齐。

典型应用场景

工业蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀量产设备； 真空热处理炉、烧结炉、退火炉工业炉体排气； 大腔体真空干燥、冻干量产生产线； 液晶器件注入、大型检漏系统； 半导体、光电行业中大腔体工艺真空排气。

使用注意事项

机架仅为承载配管单元，必须配齐对应罗茨泵、油旋片泵、控制组件才能构成完整真空机组； 处理大量水汽、溶剂蒸汽工况，输入端需要增设冷阱、过滤装置； 油雾过滤器属于重要选件，量产工况建议配置，减少油烟向外排放； 选配冷却水型泵体时，需要配套冷却水流量开关做保护。