MS120A 属于 MS 系列水冷防腐型螺杆干式真空泵，无油干式结构，转子、缸体做防腐涂层处理，侧重处理含粉尘、可凝蒸汽、弱腐蚀性气体工况，可大气压至极限真空全区间连续运行，常作为工艺设备前级真空排气单元。

整机结构

1. 双螺杆转子总成：特殊型线螺杆，转子与气缸内壁喷涂氟陶瓷防腐涂层，大间隙结构，允许少量粉尘通过，降低卡泵风险。 2. 水冷冷却腔体：水冷夹套结构，冷却水带走泵体热量，抑制水汽冷凝结垢。 3. 吹扫气接口：可接入吹扫氮气，稀释腐蚀性气体，减少内部沉积。 4. 驱动电机与电控单元：内置保护逻辑，具备过载、过热故障报警输出，支持对接设备 PLC。 5. 进气、排气法兰：进气 KF50 水平 / VG50 垂直两种法兰可选，排气端配置油雾消音结构。 6. 吊环、减震底座，方便吊装就位与水平调节。

工作原理

电机驱动一对非接触反向旋转螺杆转子，转子之间、转子与缸体留有间隙，无油无摩擦。转子旋转时泵腔容积持续变化，气体从进气口被吸入，沿螺杆轴向逐级压缩推送至排气口排出。 全程不需要泵油润滑，不会产生油返流污染腔体。水冷腔体维持泵体工作温度，减少水汽、盐类在泵内部冷凝堆积；通入吹扫气可以进一步稀释腐蚀性介质，降低部件腐蚀损耗。整机可以直接从大气压启动，不需要粗抽泵配合，全压力区间连续运行。

主要规格

*大抽速：115m³/h 极限到达压力：≤0.6Pa 消耗功率：2.4kW 电源：三相 50/60Hz，AC200‑240V 或 AC380‑480V 冷却方式：水冷，*小冷却水流量 4L/min *大水蒸气处理量：1.5kg/h 噪音：61dB (A) 进气法兰：KF50 (水平)/VG50 (垂直) 吹扫气流量：0‑50SLM 工作环境温度：7‑40℃ULVAC SHOW...

产品特点

1. 干式无油设计，无油雾返流，输出洁净真空，避免工艺样品被油品污染。 2. 核心部件防腐涂层，耐受弱腐蚀性工艺气体，螺杆大间隙结构排粉性能**，粉尘不易滞留泵腔内部。 3. 支持大气压到极限真空全程连续运转，工艺压力波动场景不用停机切换。 4. 水冷控温，抑制水汽凝结，适配含水汽、溶剂蒸汽的排气工况。 5. 具备完备故障保护，过热、过载异常输出报警信号，方便接入产线控制系统。 6. 自带氮气吹扫接口，通入吹扫气可延长泵内部件寿命，降低维护频次。 7. 紧凑型机身，适合设备集成，可作为分子泵、罗茨机组的前级泵，也可独立用于中真空工艺排气。

典型应用场景

半导体小型刻蚀、去胶、等离子清洗设备前级排气； 锂电池电极干燥、真空脱泡、注液工序真空排气； 小型真空热处理炉、烧结炉排气； 冻干设备、真空干燥设备； 实验室中试设备、小型镀膜设备； 化工工艺含粉尘、溶剂蒸汽的中真空排气。

使用注意事项

强卤素、高浓度强腐蚀气体工况，必须配套足量氮气吹扫； 大量粉尘工况前端建议增设粉尘过滤器； 冷却水流量、水温需要维持在规定范围，避免泵体过热； 不能抽吸大量液态液体，液体进入泵腔会造成转子损伤； 定期检查冷却水回路、吹扫气管路，按周期做内部检查保养。