600A 是 MS 系列中型工艺型螺杆干式真空泵，针对量产产线严苛工况开发，在普通螺杆干泵基础上强化防腐、排粉尘能力，无油干式结构，支持大气压至极限真空全区间连续运转，广泛用作半导体、锂电、热处理产线的前级真空排气单元。
整机结构组成
1. 双螺杆转子总成：特殊型线螺杆转子，转子、气缸内壁做陶瓷复合防腐涂层，转子之间、转子与缸体保持非接触间隙，实现排粉能力，降低卡泵故障风险。
2. 水冷夹套腔体：整机强制水冷结构，冷却水带走泵腔工作热量，抑制水汽、盐类介质在泵内部冷凝堆积。
3. 轴封吹扫气接口：支持 0‑50SLM 氮气吹扫，稀释腐蚀性工艺气体，保护轴封与转子部件。
4. 本地数显控制单元：自带操作面板，具备运行状态显示、故障报警输出，支持对接产线 PLC 实现远程启停、信号交互。
5. 进气、排气法兰：进气 ISO‑F‑80 法兰，排气 KF40 法兰；整机集成内置消音组件，降低排气噪音。
6. 吊环与减震底座，方便设备吊装就位、水平调平安装。
工作原理
电机驱动一对反向同步旋转的螺杆转子，转子运转过程中泵腔内部容积发生周期性变化，气体由进气口吸入，沿着螺杆轴向逐级压缩推送，*终从排气口排出。
转子无接触运转，全程无需泵油润滑，不会产生油雾返流污染工艺腔体。水冷腔体稳定泵体工作温度，减少可凝性介质冷凝沉积；通入吹扫氮气，能够阻隔腐蚀性介质接触轴封位置，延缓部件腐蚀损耗。设备可以直接从大气压启动，不需要配置粗抽泵，全压力区间能够不间断连续运行，适配工艺压力频繁波动的生产场景。
核心性能参数
*大抽速：560m³/h（50Hz）
极限到达压力：≤0.1Pa
极限真空运行功耗：3.1kW
电源规格：三相 50/60Hz，AC200‑240V 或者 AC380‑480V
冷却方式：强制水冷，*小冷却水流量 4.0L/min
吹扫气流量：0‑50SLM 连续可调
运行噪音：62dB (A)
整机重量：241kg
进气法兰：ISO‑F‑80，排气法兰：KF40
工作环境温度：7‑40℃ULVAC SHOW...
产品核心优势
1. 无油干式真空输出，不存在油品返流，不会污染腔体内部工件，满足洁净工艺生产要求。
2. 核心腔体、转子采用防腐涂层，耐受弱腐蚀气体、有机溶剂蒸汽；大间隙螺杆流道，硅粉、工艺粉尘可以顺利排出泵体，减少内部堆积，降低卡泵停机概率。
3. 全压力区间连续运行，大气压直接启动，工艺压力波动时无需停机切换，缩短整体抽气周期，适配 24 小时不间断量产产线。
4. 水冷温控设计，处理水汽、溶剂蒸汽工况表现稳定，搭配氮气吹扫接口，进一步拓展工艺兼容性。
5. 完备故障保护逻辑，过热、过载异常状态输出报警信号，方便接入产线自动化控制系统，实现设备状态监控。
6. 模块化整机结构，零部件拆装便捷，便于现场维护检修，既可以独立作为中真空排气泵，也可作为分子泵、罗茨机组的前级泵配套使用。
典型应用场景
半导体 8 英寸设备刻蚀、去胶、等离子清洗工艺前级排气；
锂电池电极干燥、真空脱泡、注液工序真空排气；
中型真空烧结炉、渗碳热处理炉真空排气；
中型镀膜设备、冻干设备、工业真空干燥产线；
化工中试设备，处理含有粉尘、溶剂蒸汽的中真空排气工况。
使用注意事项
强卤素等高浓度强腐蚀气体工况，必须配置足量氮气吹扫；
大量粉尘工况，进气前端需要增设粉尘过滤装置；
不可直接抽吸大量液态液体，液体进入泵腔会造成转子损伤；
冷却水流量、水温需要维持在规定范围，避免泵体过热；
按照周期检查吹扫气回路、水冷回路，定期开展内部保养。
