FLUORO 福乐 C002-D-Y-161 属于 C 系列常开型 ESD 导电真空吸笔，日本原装，现货库存，是半导体干式无尘车间晶圆盒深处取片、产线连续循环转运晶圆与精密基板的手动负压拾取工具。该型号采用加长直杆 + 固定直插接头设计，无万向旋转结构，管路压损低，吸力稳定，适合固定工位大批量连续取放工件。
型号编码释义
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C002：C 系列常开 NO 阀，接通真空后持续保持吸附状态，按下侧面按键泄压释放工件，无自锁保压功能，适合连续循环取料作业；
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D：笔身侧面释放按键，单手一键卸料，操作流畅；
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Y：固定直插接头，管路直连，减少管路弯折损耗，负压稳定性强；
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161：笔杆长度 161mm 加长款，可深入晶圆载盒内部取片，无需倾斜晶圆盒。
前端可自由选配 90/91/92/94/95/96/99 等多款 CP 导电 PEEK 吸嘴，模块化结构，吸嘴属于消耗件，磨损划伤后仅需单独更换吸嘴，无需更换整支吸笔，降低产线长期耗材成本。
工作原理
C002 采用常开阀结构，外接真空源开启后，吸嘴端面持续产生负压吸附工件；作业完成按下笔身侧面 D 释放按键，内部气路泄压，工件平稳脱落释放。依靠负压实现非接触拾取，摒弃传统金属镊子夹持方式，有效规避晶圆崩边、表面划伤风险；笔身 + 吸嘴构成完整连续导电通路，快速导出静电，保护硅片、碳化硅、MEMS、光学掩膜板等静电敏感器件。
材质与 ESD 防静电参数
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笔身：碳纤维增强导电尼龙，刚性强，抗冲击，干式无尘环境耐磨耐用；
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阀芯密封件：氟树脂材质，上万次反复按压，气密性稳定，不易卡滞漏气；
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配套吸嘴：导电 PEEK 材质，镜面抛光，低发尘，保护光刻胶与镀膜层；
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表面电阻率：10⁶~10⁸Ω，稳定 ESD 静电泄放；
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洁净等级：Class100~1000 无尘室适用，微粒析出量低。
关键性能参数
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真空适用范围：0 ~ -80kPa，负压可按需调节；
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笔杆长度：161mm 加长直杆，适配晶圆盒深处取片；
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接口 Y 直插接头，兼容 Φ3×5 / Φ4×6 导电螺旋软管（851-M、851-L）；
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整机重量：约 24g，轻量化，长时间手持作业手部不易疲劳；
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操作模式：通气持续吸附，侧按一键释放。
✅ 一线实测优势（非官网）
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Y 固定直接头，管路阻力小，真空损耗低，长时间连续取料吸力稳定，无明显衰减；
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161mm 加长直杆，可伸入晶圆载盒内部直接取放晶圆，不用倾斜载盒，大幅降低晶圆磕碰、掉片风险；
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C002 常开阀结构，适合产线大批量连续循环取片，操作简单，上手门槛低；
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碳纤维导电尼龙笔身结实抗摔，适配产线高频次干式拾取作业；
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模块化快拆设计，吸嘴单独更换，减少整笔采购成本，吸嘴规格齐全，4/6/8 寸晶圆、陶瓷基板均可适配。
⚠️ 使用注意要点
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**干式无尘环境使用，不可长时间接触酸碱药液，湿法工艺请选用 F 系列全氟耐化学吸笔；
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真**端务必加装真空过滤器，阻挡粉尘进入阀体，防止阀芯卡滞、漏气；
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吸嘴端面禁止硬物摩擦，一旦产生划痕会造成漏气、颗粒污染，需及时更换；
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闲置存放做好防尘，粉尘堆积在吸嘴、阀体缝隙会缩短使用寿命。
适用场景
半导体晶圆盒取放、6/8 寸硅片干式转运、晶圆检测工位、陶瓷基板、光学掩膜板、MEMS 器件、MiniLED 基板干式无尘连续拾取作业。
C 系列阀体横向对比
C002-D-Y-161：加长直杆 + Y 直接头常开款，无自锁，晶圆盒连续取片** C003-D-Y-161：加长直杆自锁款，可锁真空松手持料，适合样品长距离转运观察
C002-D-X-106：万向短杆常开款，狭小腔体多角度取料
