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FLUORO 福乐 C002-D-Y-161-99 防静电真空吸笔

FLUORO 福乐 C002-D-Y-161-99 属于 C 系列一体式常开型 ESD 导电真空吸笔,日本原装,现货库存,出厂预装 99 号大平面导电 PEEK 吸嘴,专门用于干式无尘车间大面积薄晶圆、大尺寸陶瓷基板的连续取放作业。加长直杆搭配固定直接头,管路压损低,适合晶圆盒内部大批量循环拾取工件。

型号编码释义

  • C002:C 系列常开 NO 阀,接通真空即持续吸附工件,按下侧面按键泄压释放,无自锁保压功能,适配连续循环取料;
  • D:笔身侧面释放按键,单手一键卸料,操作简单流畅;
  • Y:固定直插接头,管路直连,减少弯折带来的真空损耗,负压稳定;
  • 161:笔杆长度 161mm 加长款,可直接伸入晶圆载盒深处取片,无需倾斜晶圆盒;
  • 99:标配 99 大平面导电 PEEK 吸嘴,大吸附面,适合大面积薄基板拾取。

模块化结构,前端吸嘴属于消耗件,出现磨损、划痕后可单独更换吸嘴,无需更换整支吸笔,有效降低产线耗材成本,兼容 C 系列全规格 CP 吸嘴。

工作原理

C002 采用常开阀结构,真空源开启后,99 吸嘴端面持续形成负压吸附工件;完成取放后按下笔身侧面 D 释放按键,内部气路泄压,工件平稳脱落。依靠负压实现非接触拾取,替代金属镊子,避免晶圆崩边、划伤镀膜与光刻胶;笔身 + 99-CP 吸嘴形成完整导电通路,快速导出静电,保护硅片、光学掩膜、陶瓷薄片等静电敏感器件。

材质与 ESD 防静电参数

  1. 笔身:碳纤维增强导电尼龙,刚性强、抗冲击,干式无尘环境耐磨耐用;
  2. 阀芯密封件:氟树脂材质,上万次反复按压,气密性稳定,不易卡滞漏气;
  3. 标配 99 吸嘴:导电 PEEK 材质,大平面镜面抛光,低发尘,吸附受力均匀;
  4. 表面电阻率:10⁶~10⁸Ω,稳定 ESD 静电泄放;
  5. 洁净等级:Class100~1000 无尘室适用,微粒析出量低。

关键性能参数

  • 真空适用范围:0 ~ -80kPa,负压可按需调节;
  • 笔杆长度:161mm 加长直杆,适配晶圆盒深处取片;
  • 接口 Y 直插接头,兼容 Φ3×5 / Φ4×6 导电螺旋软管(851-M、851-L);
  • 整机重量:约 24g,轻量化,长时间手持作业手部不易疲劳;
  • 操作模式:通气持续吸附,侧按一键释放;
  • 预装吸嘴:99 大平面导电 PEEK 吸嘴。

✅ 一线实测优势(非官网)

  1. Y 固定直接头,管路真空损耗低,长时间连续取料吸力稳定,不易衰减;
  2. 161mm 加长直杆,可深入晶圆载盒内部取片,不用倾斜载盒,降低晶圆磕碰、掉片风险;
  3. 标配 99 大平面吸嘴,大面积均匀吸附,薄晶圆、大面积陶瓷基板受力均匀,不易产生压痕、形变;
  4. C002 常开阀结构,适合产线大批量连续循环取片,上手简单,适合产线高频作业;
  5. 碳纤维导电尼龙笔身结实抗摔,模块化快拆吸嘴,单独更换耗材,降低长期使用成本。

⚠️ 使用注意要点

  1. **干式无尘环境使用,不可长时间接触酸碱药液,湿法工况选用 F 系列耐化学吸笔;
  2. 真**端务必加装真空过滤器,阻挡粉尘进入阀体,防止阀芯卡滞、漏气;
  3. 99 吸嘴平面禁止硬物摩擦,一旦产生划痕会造成漏气、颗粒污染,需及时更换;
  4. 闲置存放做好防尘,粉尘堆积在吸嘴、阀体缝隙会缩短使用寿命。

适用场景

半导体晶圆盒转运、大面积薄硅片拾取、光学掩膜板、大尺寸陶瓷基板、光伏薄片、MEMS 大面积器件,干式无尘车间连续循环取放作业。

C 系列阀体横向对比

C002-D-Y-161-99:加长直杆 + Y 直接头,预装 99 大平面吸嘴,大面积薄基板连续取料** C002-D-Y-161:同笔身,不含预装吸嘴,可自由选配各类吸嘴 C003-D-Y-161:加长直杆自锁款,可锁真空,适合工件长距离转运观察 C002-D-X-106:万向短杆常开款,狭小腔体多角度取料