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FLUORO 福乐 C002-D-X-100 防静电真空吸笔

FLUORO 福乐 C002-D-X-100 属于 C 系列常开型 ESD 导电真空吸笔,日本原装,现货库存,干式无尘狭小腔体、探针台工位精密元件连续拾取专用工具。搭载 360° 球状万向接头,笔杆短巧,适合设备内部多角度取片,是半导体实验室与封装检测高频循环作业的优选。

型号编码释义

  • C002:C 系列常开 NO 阀,真空通气后持续吸附工件,按下侧面按键泄压卸料,无自锁功能,适合连续循环取料;
  • D:笔身侧面释放按键,单手一键泄压,操作简单顺手;
  • X:360° 球状万向旋转接头,吸嘴可自由转向,无需转动整支笔身,腔体多角度取料;
  • 100:笔杆长度 100mm,超短紧凑杆身,规避设备内部结构干涉。

前端可自由选配 90/91/94/95/96/99 等 CP 系列导电 PEEK 吸嘴,模块化结构,吸嘴属于消耗件,磨损划伤仅需单独更换吸嘴,无需更换整支吸笔,降低产线耗材投入。

工作原理

C002 采用常开阀结构,外接真空源开启后,前端吸嘴形成稳定负压吸附工件;作业完成按下侧面 D 释放按键,内部气路泄压,工件平稳释放。依靠负压实现非接触拾取,替代传统金属镊子,避免晶圆崩边、划伤光刻胶与镀膜层;笔身与吸嘴构成完整连续导电通路,快速导出静电,保护硅片、碳化硅、MEMS、光学掩膜板等静电敏感器件。

材质与 ESD 防静电参数

  1. 笔身:碳纤维增强导电尼龙,刚性强、抗冲击,干式无尘环境耐磨耐用;
  2. 阀芯密封件:氟树脂材质,上万次反复按压,气密性稳定,不易卡滞漏气;
  3. 配套吸嘴:导电 PEEK 材质,镜面抛光处理,低发尘,保护晶圆表面薄膜;
  4. 表面电阻率:10⁶~10⁸Ω,稳定 ESD 静电泄放;
  5. 洁净等级:Class100~1000 无尘室适用,微粒析出量低。

关键性能参数

  • 真空适用范围:0 ~ -80kPa,负压可按需调节;
  • 笔杆长度:100mm 超短杆,适配探针台、狭小腔体作业;
  • 接口 X 万向球接头,兼容 Φ3×5 / Φ4×6 导电螺旋软管(851-M、851-L);
  • 整机重量:约 22g,轻量化,长时间手持作业手部不易疲劳;
  • 操作模式:通气持续吸附,侧按一键释放。

✅ 一线实测优势(非官网)

  1. X 万向球形接头,360° 自由转向,腔体内部多角度贴合工件,狭小空间不会出现笔身干涉;
  2. 100mm 超短笔身,适合探针台、小型检测腔近距离取放 4/5 寸晶圆、陶瓷基板,操作灵活;
  3. C002 常开阀结构,适合产线大批量连续循环取片,上手简单,适合高频干式拾取作业;
  4. 碳纤维导电尼龙笔身结实抗摔,耐频繁操作;
  5. 模块化快拆结构,吸嘴可单独更换,按需选用小口径、中等口径、大平面吸嘴,适配多规格工件。

⚠️ 使用注意要点

  1. **干式无尘环境使用,不可长时间接触酸碱药液;湿法工况请选用 F 系列全氟耐化学吸笔;
  2. 真**端务必加装真空过滤器,阻挡粉尘进入阀体,防止阀芯卡滞、漏气;
  3. 吸嘴端面禁止硬物摩擦,一旦产生划痕会造成漏气、颗粒污染,磨损后及时更换;
  4. 闲置存放做好防尘,粉尘堆积在吸嘴、阀体缝隙会缩短使用寿命。

适用场景

半导体探针台取样、机台狭小腔体晶圆取放、4/5 寸硅片转运、碳化硅基板、光学石英片、陶瓷薄片、MiniLED 芯片干式无尘连续拾取。

C 系列阀体横向对比

C002-D-X-100:100mm 超短万向常开款,狭小腔体连续取料 C002-D-X-106:106mm 万向短杆常开款,通用型 C002-D-Y-161:161mm 加长直杆,晶圆盒深处取片 C003-D-X-106:万向短杆自锁款,拾取工件可松手,适合样品静置观察