欢迎进入玉崎半导体(深圳)有限公司网站!

成为连接全球半导体资源
与国内终端需求的核心桥梁

全 国 服 务 电 话
13530227878

您的位置 : 首页 > 技术支持
产品分类导航
PRODUCT CENTER
MKS
MTL

ULVAC爱发科 GR60 多级罗茨干泵

这款泵是爱发科GR系列里*紧凑的小规格型号,专门针对中小型真空设备的高负荷工况设计,核心优势是“无油洁净+耐频繁启停”。
它的核心参数如下:
  • 50Hz下抽速62m³/h,60Hz下抽速80m³/h,极限压力5.0Pa,覆盖从大气压到5Pa的真空区间;
  • 整机无油干式多级罗茨结构,转子与泵体非接触运转,不会产生油蒸汽反流,适配光学镀膜、电子元件加工这类对洁净度要求高的场景,也没有废油处理成本;
  • 采用多电压兼容感应电机,支持200V/380V工业电压,还能选配防爆电机,适配不同场地供电需求;
  • 整机重量128kg,是GR系列里*轻的型号,吸气口可选VG50或ISO63F法兰,排气口统一NW40快装法兰,安装对接很方便;
  • 标配水冷循环冷却,搭配氮气轴封吹扫,能长期承受大气与真空之间反复切换的高负荷工况,不会因频繁启停出现性能衰减。
它不适用于处理腐蚀气体、含粉尘的工况,只适合空气、氮气这类洁净惰性气体的真空抽取。

使用案例

某光学镜片镀膜产线的装卸锁腔(Load Lock)之前用的普通旋片泵,每次上下料破空后再抽真空要等12分钟,而且运行3个月后泵腔内积了油污,导致镀膜良率下降了3%。
后来换装GR60A之后,因为它的多级罗茨结构强化了高压段排气能力,反复破空抽气的时间缩短到了7分钟,单批次产能提升了40%;而且无油设计彻底解决了油污反流问题,镀膜良率恢复到99%以上,半年下来光废油处理成本就省了8000多。

适配场景

  • 小型真空干燥机、真空脱泡设备
  • 光学镀膜、电子元件加工的装卸锁腔
  • 真空气体置换系统、真空脱气设备
  • 实验室小型真空设备