ULVAC爱发科 GR90 多级罗茨型干泵 产品解析
爱发科（ULVAC）GR系列干泵是以成熟的LR/HR系列为基础，面向一般工业设计的多级罗茨型干式真空泵。 其中GR90（GR90A）作为该系列的中型主力型号，定位介于GR60A与GR180A之间，特别适合中等规模、高负荷反复抽气的真空设备配套。
核心规格参数
产品特点
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无油干式设计：泵腔内无需油类润滑，避免油污染被抽介质，适合对洁净度有要求的工艺场景。
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高负荷连续运行：专为大气压与真空之间反复切换的高负荷工况设计，可长期稳定运行。
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Load Lock室高吞吐量：搭配装载/卸载室使用时，可显著缩短抽气时间，提升作业效率。
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多电压兼容电机：采用通用感应电机，支持200V级或多电压选配，可选配防爆电机，适配不同现场供电条件。
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结构简洁、维护方便：相比螺杆型干泵结构更简单，日常维护无需换油，降低运维成本。
典型使用案例
案例一：光学镀膜设备 Load Lock 室配套
某光学镜片镀膜产线，原有油泵在反复破空/抽真空循环中，存在油蒸气返流污染腔体的风险，导致镀膜良率波动。换装GR90A后，无油干式运行彻底消除了油污染隐患，配合Load Lock室实现高吞吐量连续作业，抽气节拍稳定，镀膜良率明显提升。
案例二：真空干燥机排气
某新材料企业真空干燥设备，需要在大气压与真空之间频繁切换，原有泵组在高负荷工况下故障率较高。GR90A凭借112 m³/h的抽速和耐高负荷连续运行的特性，稳定承担干燥腔体的真空排气任务，维护频次大幅降低。
案例三：真空气体置换 / 真空脱泡
在真空热隔绝、气体填充、真空脱泡等一般工业场景中，GR90A可处理空气、惰性气体等洁净气体的真空排气，结构简单、运行可靠，是中等规模真空系统的经济型选择。
适用行业
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光学镀膜 / 真空镀膜
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半导体 / 光伏
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新材料 / 锂电池
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真空干燥 / 真空脱泡
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真空气体置换 / Load Lock室
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高校科研实验室
选型提示
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GR系列适用于洁净气体（空气、惰性气体等）的真空排气，若工艺涉及腐蚀性气体或高温工艺，建议评估HR系列螺杆型干泵。
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GR90A抽速为112 m³/h（50Hz），介于GR60A（62 m³/h）和GR180A（183 m³/h）之间，选型时需根据腔体容积和抽气节拍要求确定。
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冷却水供给压力需保持在0.1~0.3 MPa，出入口压差>0.1 MPa，安装时需确认现场冷却水条件。
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