产品概述
ULVAC爱发科CR16B是获得CE、cTUVus国际标准认证的空冷式多级罗茨型干泵，泵腔内无油、转子与气缸非接触运行，无需冷却水和氮气，适配空气、惰性气体等洁净气体排气，以及溅射、蒸发类真空设备，是中小型真空系统的主流干泵选择。
核心参数
-
抽速：16m³/h（280L/min）
-
极限压力：≤3.0Pa
-
电源：单相100V/200V、三相200V可选
-
电机功率：0.72kW
-
吸排气口径：KF25
-
整机重量：35kg
-
选配气镇后水蒸气处理量：<300g/h
核心优势
-
完全无油：泵腔无油、转子非接触，无油气污染风险，适合洁净度要求高的真空工艺
-
运行成本低：空冷设计，无需配套冷却水和氮气供应，降低基础设施成本
-
安装便捷：整机仅35kg，KF25标准接口，占地小，适合实验室、小型产线安装
-
适配水蒸气工况：选配气镇机构后可用于真空干燥等水蒸气排气场景
典型使用案例
某小型光学镀膜实验室原使用油旋片泵，运行半年后出现油雾反向迁移污染镀膜腔室、薄膜良率下降的问题，且需要定期更换真空泵油、清理油路，维护成本高。换装CR16B后，彻底解决了油污染问题，薄膜良率提升约8%，且无需冷却水和氮气配套，每年节省运维成本超2万元，设备连续运行稳定性显著提升。
适配场景
-
实验室真空系统、小型镀膜设备
-
溅射、蒸发等真空工艺设备
-
真空干燥、惰性气体排气场景
-
半导体Load-Lock腔体预抽
-
