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ULVAC爱发科 CR30B 多级罗茨型干泵

产品核心定位

ULVAC爱发科CR30B是专为中高真空场景设计的风冷多级罗茨干式真空泵,主打无油洁净、空冷节能、稳定耐用三大核心优势,是电子、镀膜、真空干燥等领域中高真空段的主力机型,平衡了抽速、极限真空、能耗与维护成本。

核心技术优势

  • 无油非接触,洁净真空零污染:泵头内部无真空油,杜绝油蒸汽返流污染;转子与气缸采用精密间隙配合的非接触式运转,无机械摩擦、无磨损、无粉尘,可长时间稳定运行,极限真空≤3.0Pa,满足中高真空工艺需求。
  • 空冷节能,运行成本更低:采用强制风冷设计,无需冷却水和氮气吹扫,简化管路的同时降低基建与运维成本;搭载DC密封电机,高效节能、气密性强,整机重量仅35kg,安装灵活。
  • 气镇功能,适配水蒸气工况:可选配气镇机构,支持抽除水蒸气,适配真空干燥、溶剂回收等含水工况,*大水蒸气处理量<300g/h。
  • 国际认证,**可靠:通过CE、cTUVus国际标准认证,可出口至全球多地区使用;非接触+无油设计,连续运行免维护周期长。

关键技术参数

表格
参数项 规格
抽速 30m³/h(500L/min)
极限压力 ≤3.0Pa
电机额定功率 0.72kW
吸气口/排气口 KF25
质量 35kg
冷却方式 空冷
电源 单相100V、200V/三相200V

典型使用案例

某真空镀膜设备厂商在配套中小型溅射镀膜设备时,原使用的油旋片泵存在油蒸汽返流污染腔室、需定期换油维护的问题,导致镀膜良率下降、运维成本升高。换装CR30B后,无油设计彻底解决了油污染问题,腔室洁净度显著提升;空冷设计省去了冷却水系统,设备集成更简单;30m³/h的抽速匹配设备腔室容积,抽真空时间较原有方案缩短约15%,同时免维护特性使设备年运维成本降低约30%,成为该厂商中小型镀膜设备的标配前级泵。

适用场景

  • 空气、惰性气体等洁净气体的真空排气;
  • 真空干燥等水蒸气排出(需配气镇);
  • 溅射、蒸发等真空设备配套。