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现货!ULVAC爱发科 CR300B 多级罗茨型干泵

CR300B是ULVAC爱发科CR系列中抽速*大的风冷罗茨型干式真空泵,核心定位为大腔体、高洁净度要求的工业级真空场景,兼顾无油洁净排气与低运行成本优势。
核心参数与优势:*大抽速300m³/h(5000L/min),极限压力≤0.5Pa,电机功率3.0kW,吸气口径KF50、排气口径KF40,电源为三相200V,整机重量100kg。核心优势包括:泵头内部无油、转子与气缸无接触运行,可长时间稳定排气;采用风冷设计,无需冷却水和氮气,大幅降低运行成本;配备直流屏蔽电机,实现节能、气密、轻量化;选配气镇机构后可抽除水蒸气(耐水蒸气量<500g/h);获得CE、cTUVus国际认证,全球通用。
适用场景:大型真空镀膜生产线、半导体制造设备、大型真空干燥系统、溅射/蒸发等真空设备,以及空气、惰性气体等洁净气体的真空排气。

使用案例

某半导体封装产线原使用油封式真空泵,存在油污染导致晶圆良率不稳定、需定期更换真空泵油、维护冷却水系统成本高的问题。换装CR300B后,无油设计彻底消除油污染风险,镀膜良率提升约15%;风冷设计省去冷却水与氮气供应,年运行成本降低约30%;300m³/h大抽速使抽真空时间缩短40%,产线节拍明显提升,且设备长期运行稳定性高,维护频次大幅减少。