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ULVAC爱发科 CR60B-T 多级罗茨型干泵

型号:CR60B-T
CR60B-T 是 ULVAC 爱发科 CR 系列 Ver.B 空冷式多级罗茨型干泵,泵头内部无油,转子与气缸非接触运行,可长时间稳定排气,不需要冷却水和氮气,适合洁净气体真空排气、真空干燥及溅射、蒸发等真空设备配套。

核心参数

表格
项目 参数
抽速(50Hz) 55 m³/h(920 L/min)
极限压力 ≤ 3.0 Pa
吸入/排气口压力 大气压
电源 三相 200V
电机额定功率 1.5 kW
吸气口 / 排气口 KF40 / KF40
质量 48 kg
冷却方式 空冷
气镇机构 选配件
水蒸气处理量 <500 g/h
符合标准 CE、cTUVus

产品特点

无油洁净,非接触结构
泵腔内不使用真空油,转子和气缸非接触运行,可长时间稳定排气,适合对洁净度要求较高的真空系统。
空冷设计,降低运行成本
无需冷却水和氮气,设备配套更简单,运行维护成本更低。
DC密封电机
配备直流屏蔽电机,具有节能、气密性好、轻量化等特点。
可选配气镇机构
需要排出水蒸气时,可加装气镇机构,水蒸气处理量小于 500 g/h,适合真空干燥等含水蒸气工况。
国际认证
符合 CE、cTUVus 标准,便于配套出口设备或对认证有要求的项目。

适用工况

CR60B-T 主要适用于:
  • 空气、惰性气体等洁净气体真空排气
  • 真空干燥、水蒸气排出
  • 溅射、蒸发等真空设备
  • 镀膜设备、真空系统配套
  • 需要无油、洁净排气的工业真空应用

使用案例

在某真空镀膜设备配套项目中,现场需要一台抽速适中、结构紧凑、无油洁净的干泵,用于腔体真空排气和设备配套。由于现场对油污染比较敏感,且安装空间有限,不能配置复杂的水冷系统,因此选用了空冷式干泵方案。
CR60B-T 抽速 55 m³/h,极限压力 ≤ 3.0 Pa,吸气口和排气口均为 KF40,整机质量约 48 kg,比较适合中小型真空腔体、镀膜设备、真空干燥设备以及需要洁净排气的真空系统。其空冷设计不需要额外配置冷却水,现场安装和后期维护相对简单;无油非接触结构也有助于减少油污染风险,提升系统洁净度。
如果现场需要处理水蒸气,可加装气镇机构;如果电源为单相 200V,则应优先确认 CR60B-S 与 CR60B-T 的电源差异,避免选型错误。

选型提示

  • 确认现场电源:CR60B-T 为三相 200V
  • 确认口径:吸气口、排气口为 KF40
  • 确认工况:洁净气体、水蒸气或真空设备配套
  • 确认是否需要气镇机构
  • 确认安装空间、冷却条件和维护便利性

如需进一步确认型号、交期或配套方案,可提供设备口径、电源、工况和使用环境,以便匹配具体配置。