ULVAC 爱发科多级罗茨型干泵 ES10，该泵属于 ECO-SHOCK 系列小型干式真空泵，专为洁净气体抽真空场景打造，采用多级罗茨无油干式结构，泵腔内部无需润滑油，从根源上杜绝油蒸气污染，满足半导体、精密化工、光学镀膜等行业对真空环境洁净度的严苛需求。ES10 主打低功耗、小型轻量化设计，是间歇式抽真空、Loadlock 腔室快速粗抽的优选机型，兼顾安装灵活性与运行稳定性，非常适合空间紧凑的产线设备集成。
核心特点
ES10 采用多级罗茨转子非接触式运转结构，转子与泵腔无摩擦，运行噪音低、振动小，整机*大功耗仅 65W，节能优势突出，长期连续使用可显著降低工厂用电成本。设备支持 DC24V 接点远程启停控制，搭载过电流报警输出功能，实时监测泵体运行状态，出现异常及时告警，保护后端工艺设备。整机本体重量仅 8.3kg，外形尺寸 175mm×310mm×240mm，体积小巧，可灵活嵌入各类真空设备；同时内置运行时长显示，方便运维人员规划保养周期，简化设备管理。该泵仅适配空气、氮气、氩气等惰性洁净气体，不适合强腐蚀、含大量可凝蒸汽的工艺气体，保障泵体使用寿命。
核心参数（主流型号速览）
-
泵类型：多级罗茨型干泵（ECO-SHOCK）
-
电源：单相 AC100～220V，50/60Hz
-
*大功耗：65W
-
控制方式：DC24V 接点远程启停，过电流报警输出，运行时间显示
-
本体尺寸：175mm×310mm×240mm
-
本体重量：8.3kg
-
适配介质：空气、氮气、氩气等惰性洁净气体
-
选配：NW40 阀单元
-
电源：单相 AC200～220V±5%，50/60Hz
-
*大功耗：400W
-
本体重量：32kg
-
本体尺寸：250mm×475mm×373mm
-
报警输出：启动确认、省电确认、本体警报、过电流警报多信号输出
典型应用
ES10 多级罗茨干泵广泛应用于半导体设备 Loadlock 装载腔抽真空、光学溅射镀膜设备、实验室真空脱气、小型真空贴合、精密检测真空腔体粗抽、锂电实验室惰性气体真空处理等场景。在化工领域，适用于洁净样品真**处理、无油真空脱泡，适合对真空洁净度有要求，同时设备安装空间有限、间歇式抽气的工况。凭借低功耗优势，非常适合多台设备集群配套使用，降低整套产线能耗。
选型对比
同 ECO-SHOCK 系列 ES10 与 ES4A 对比，ES10 定位小型轻量化，功耗低、体积小，适合小腔体、间歇抽气、设备内置集成场景；ES4A 抽气能力更强，报警信号更**，适用于大腔体、高频率连续抽真空工况。和隔膜干泵相比，ES10 多级罗茨结构抽气速度更高，粗抽效率更快；但隔膜干泵耐腐蚀性更强，可处理部分弱腐蚀气体。如果工艺气体含腐蚀性介质、大量水汽，优先选择耐腐蚀隔膜干泵；如果追求洁净无油、快速粗抽、设备紧凑安装，ES10 是更优选型。
