ULVAC 爱发科多级罗茨型干泵 ES4A，该款属于 ECO-SHOCK 系列干式真空泵，无油式多级罗茨结构，专为化工、半导体、真空工艺场景打造，可作为罗茨增压机组配套前级泵，实现节能化稳定真空抽取，是中大型真空系统升级改造优选设备。
一、核心特点
ES4A 采用无油多级罗茨干式结构，泵腔内部不使用润滑油，杜绝油蒸汽污染工艺腔体，保障洁净真空环境，满足精密工艺对无油污染的硬性要求。设备搭载智能控制系统，具备启动确认、省电运行、本体故障、过电流多重报警输出功能，支持 DC24V 接点远程启停，方便接入自动化产线集中管控。相比传统前级泵搭配罗茨机组方案，该泵可大幅降低整套真空机组能耗，在极限压力工况下能耗*高可实现超 50% 削减，间歇反复排气场景同样具备显著节电效果。整机集成运行时长显示，运维人员可直观查看泵体累计工作时间，合理规划保养周期；结构紧凑，自带移动脚轮，现场安装移位便捷，阀单元可作为选配模块按需加装，适配不同管路布局需求。
二、核心参数（主流型号速览）
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项目
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ES4A 参数
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产品类型
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多级罗茨型干泵（ECO-SHOCK）
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电源规格
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单相 AC200～220V±5%，50/60Hz
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*大功耗
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400W
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外形尺寸
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250mm×475mm×373mm
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整机重量
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32kg
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信号接口
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远程启停输入；启动确认、省电确认、本体警报、过电流警报输出
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配套阀单元
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可选配 NW 规格阀单元
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三、典型应用
ES4A 适配化工行业真空脱气、真空蒸馏、溶剂回收、实验室中真空制程；半导体与 FPD 行业晶圆处理、薄膜制备、真空检漏；分析仪器、真空封装、真空浸渍等洁净中真空场景。尤其适合搭配 LR 系列罗茨增压泵组成真空机组，在间歇排气、周期性抽气工艺中发挥节能优势，广泛用于化工新材料、精细化工、电子制造等对真空洁净度、设备稳定性有要求的生产工序。
四、选型对比
对比普通隔膜干泵：ES4A 抽气能力更强，支持长时间连续大流量排气，适合中大型成套真空系统；隔膜干泵更偏向小型、低流量实验室设备，连续重载工况能力弱于 ES4A。
对比螺杆干泵：ES4A 整机体积更小、自重更轻，功耗更低，主打节能配套；螺杆干泵更适合含大量粉尘、强腐蚀气体的严苛化工工况，采购与运维成本更高。
对比同系列 ES10：ES4A 功率更大、排气性能更强，面向工业成套真空机组；ES10 为小型版本，多用于小型设备、仪器配套。
客户选型时，小流量仪器配套可选 ES10；成套罗茨机组、工业间歇排气、追求节能降本，优先选用 ES4A。
