玉崎现货供应 FLUORO 福乐全套晶圆搬运工具，洁净车间内硅晶圆、外延片、碳化硅基板的转运作业，不能零散选购配件，一套完整的晶圆搬运套件包含真空动力主机、真空吸笔、晶圆机械夹、吸笔收纳支架以及管线接头配件，整套工具全部采用低析出防静电材质，适配百级、千级无尘工作台，覆盖 2‑12 英寸各类半导体基片手动取放需求。

一、无油隔膜真空泵（负压动力源）

整套真空搬运系统的动力核心优先选用 FV‑30、FV‑60 无油隔膜真空泵。泵内置 HEPA 排气滤芯，输出洁净负压，无油气析出污染工件；整机体积小巧，可以直接放置在洁净台内部；负压压力支持现场微调，运行震动低，负压输出稳定。

选型提示：尽量不要直接取用车间公用集中真空源，集中管路内部容易积存杂质颗粒，建议前端额外增设过滤组件，避免颗粒污染晶圆表面。

二、真空吸笔本体与替换吸嘴

真空吸笔分为 C 系列防静电导电 PEEK 款与 F 系列 PTFE 特氟龙耐化学款。 C 系列导电尼龙笔身 + 导电 PEEK 吸嘴，表面电阻 10⁶‑10⁸Ω，适合干法工位干燥晶圆取放；阀体型号 C001 常闭、C002 常开、C003 按钮自锁；配套吸嘴 94‑CP 至 99‑CP，适配 5‑12 英寸晶圆。 F 系列整体特氟龙材质，耐酸碱腐蚀，主要用于清洗工序之后带药液湿晶圆转运；笔身 F001/F002/F003，可更换多款特氟龙吸头，多用于 2‑6 英寸薄片外延片拾取。 吸嘴属于消耗件，长期使用磨损后建议及时更换，防止掉屑划伤晶圆镜面。

三、晶圆夹（机械式晶圆镊子）

机械式晶圆夹作为真空吸笔的补充工具，无需负压气源，开箱即可直接使用。 镊头材质分为防静电 PEEK 以及特氟龙两种；作业的时候仅夹持晶圆外缘倒角位置，严禁触碰晶圆正面图形区域；分为基础直压款 M 系列与带锁止杠杆 L 系列，锁止款夹持之后可以锁定开度，手部不用持续用力，适合长距离转运取样；规格完整覆盖 4‑12 英寸硅片；适合实验室间歇取样、高温晶圆不适合吸附的工况。

四、吸笔座（真空吸笔收纳支架）

很多工位容易忽略吸笔支架的作用，作业间隙吸笔随意摆放在台面，吸嘴极易磕碰磨损、沾附台面粉尘。FLUORO 福乐原装吸笔座主流型号包含 651 壁挂款、652 桌面立式款、658 壁挂 NO 阀专用款、659 桌面 NO 阀专用款。 支架采用导电尼龙搭配低发尘亚克力底座，具备静电泄放能力；651/652 适用于 C001 常闭阀体；658/659 专门适配 C002 常开阀体，吸笔放回支架即可自动切断负压，减少真空泵空载损耗；无需打孔改造的桌面款更适合实验室；壁挂款节省工作台台面空间。还有 678 可调角度支架，支持吸笔倾斜角度锁紧，预对位作业可以解放双手。

五、配套管线及接头配件

配套包含螺旋伸缩真空软管、管路转接接头；弹簧伸缩管线允许手持吸笔大范围移动作业；全部管路同样选用防静电材质，适配无尘环境使用。

六、成套选型建议

1、实验室少量抽检：FV‑30 真空泵 + C 系列防静电吸笔 + L 系列杠杆晶圆夹 +652 桌面吸笔座； 2、产线高频干法工位：FV‑60 真空泵 + C002 常开阀体吸笔 +659 自动断气吸笔座； 3、湿法清洗出料工位：F 系列特氟龙真空吸笔搭配 FV 系列真空泵； 4、建议车间同时备货真空吸笔与机械晶圆夹，根据不同晶圆状态灵活切换。

应用范围：半导体研发实验室、晶圆抛光检测、封装测试车间、碳化硅、蓝宝石基片、外延片手动取放转运。