玉崎现货供应 FLUORO 福乐整套晶圆处理工具。很多洁净车间工程师只听说过伯努利非接触气浮吸盘，实际上福乐已经形成覆盖接触式吸取、非接触气浮吸取、机械夹持、动力源、收纳配件的完整产品线，可以针对厚硅片、超薄外延片、湿法带药液晶圆、双面图形晶圆等不同工件，匹配对应的手动转运工具。

一、BC‑K 伯努利非接触气浮吸盘（无接触悬浮取放）

BC‑K 系列伯努利卡盘依靠气流悬浮原理拾取晶圆，吸盘本体不直接贴紧晶圆表面，仅边缘做点位限位保护，是双面带电路图形、50μm 级别超薄晶圆的优选工具。 压缩空气喷出之后形成负压将晶圆悬浮抬起，晶圆正反面全部免于接触摩擦，彻底规避正面图形划伤的风险；导电尼龙本体具备 ESD 防静电能力；现有型号覆盖 6 英寸、8 英寸、12 英寸晶圆，还可以根据方形基片做定制选型。

适用：双面光刻晶圆、极薄外延片，严禁普通真空吸嘴硬吸附的高价值工件；需要外接洁净压缩气源使用。

二、C 系列防静电真空吸笔（干法工位主力款）

C 系列导电 PEEK 真空吸笔，也是车间*常用的接触式真空吸取工具。笔身为导电尼龙，吸嘴采用导电 PEEK，表面电阻维持 10⁶‑10⁸Ω，稳定泄放静电。 阀体分为 C001 常闭 NC、C002 常开 NO、C003 按钮自锁 SW 三种；配套吸嘴型号 94‑CP 至 99‑CP，可更换吸头分别适配 5‑12 英寸硅晶圆；阀体内壁高光抛光处理，发尘量低，适配百级千级无尘工作台。

适用：干燥状态硅晶圆、存储芯片晶圆干法抽检、抛光后晶圆转运，需要搭配 FV 系列无油隔膜真空泵。

三、F 系列 PTFE 特氟龙耐化学真空吸笔（湿法制程专用）

F 系列整机采用 PTFE 特氟龙材质，耐强酸强碱药液浸泡，专门应对清洗工序出料之后表面残留药液的湿晶圆。 笔身 F001/F002/F003 阀体，吸嘴可选 3F、PK、Vespel 多款材质；重点面向 2‑6 英寸薄片外延片、碳化硅清洗后工件；特氟龙材质不会被清洗药液腐蚀析出异物，避免污染晶圆镜面。

适用：湿法清洗工位、药液漂洗之后的湿片搬运。

四、机械式晶圆镊子（晶圆夹，无需气源）

M 系列直压款、L 系列杠杆锁止款机械晶圆镊子，不需要真空泵与气源，开箱就可以直接夹持晶圆外缘倒角位置，全程避开晶圆正面镜面区域。 材质分为防静电 PEEK、PPS 特氟龙版本；杠杆锁止款夹紧后可以锁定开度，手部不用持续用力，适合长距离取样转运。

适用：实验室间歇取样、高温晶圆不适合吸附、现场没有负压气源的工况；规格完整覆盖 4‑12 英寸。

五、无油隔膜真空泵（整套真空系统动力源）

FV‑30、FV‑60、FV‑XP 无油隔膜真空泵是真空吸笔配套负压主机；内置 HEPA 排气滤芯，输出洁净负压，没有油气污染风险；负压可微调，运行震动小。FV‑30 适合 2‑6 寸小晶圆；FV‑60 适配 8 寸；FV‑XP 大流量版本可同时接多支吸笔，适配 12 英寸晶圆。

选型提示：尽量不直接使用车间公用真空管路，管路杂质容易造成晶圆颗粒污染。

六、收纳支架与管线全套辅件

原装吸笔座 651 壁挂、652 桌面立式、658/659 常开阀体自动断气支架；作业搁置吸笔的时候自动切断负压，减少泵体空载损耗；搭配防静电螺旋伸缩软管、各类管路转接接头；整套辅件完善工作台工位收纳管理，减少吸嘴磕碰污染。

七、选型快速参考

1、超薄双面图形晶圆 → BC‑K 伯努利非接触气浮吸盘； 2、常规干法 8‑12 寸硅片 → C 系列防静电真空吸笔 + FV‑60 真空泵； 3、清洗后湿晶圆转运 → F 系列特氟龙真空吸笔； 4、实验室临时取样无气源 → L 系列杠杆锁晶圆机械镊子； 5、多工位同时使用吸笔 → FV‑XP 大流量真空泵。

应用范围：半导体研发实验室、晶圆抛光检测、封装测试、碳化硅、蓝宝石基片、外延片各类手动取放转运作业。