作为日本ULVAC爱发科CR Ver.B系列的标准风冷机型，CR60B-S是专为洁净真空场景设计的中大型干式真空泵，核心解决传统油式真空泵油雾污染、管路繁杂、运维成本高的痛点。
它采用多级三叶罗茨非接触式压缩结构，泵腔内部完全不使用真空油，从根源杜绝油蒸气反向污染腔体的风险，适配对洁净度要求高的工艺场景；整机为纯风冷设计，无需外接冷却水和吹扫氮气，大幅简化现场管路布局，降低基建配套投入；搭载1.5kW永磁DC密封电机，整机重量仅48kg，运行噪音约65dB（A），兼顾节能与轻量化。
核心性能方面，50Hz工况下抽速可达55m³/h（920L/min），无气镇状态下极限真空≤3.0Pa，可直接从大气压快速抽气，无需额外搭配前级泵；可选配气镇机构，*大可处理500g/h水蒸气，适配真空干燥、含水试样脱气等含水蒸气工艺；采用KF40标准化进出气法兰，单相200V供电适配国内常规供电标准，已通过CE、cTUVus国际**认证，可快速对接镀膜机、干燥箱、等离子清洗等设备。
典型使用案例
某光学镀膜企业原有产线使用传统油旋片真空泵，长期运行后频繁出现油雾返流污染镀膜腔体的问题，导致镀膜良率波动，同时冷却水和氮气管路维护成本高，狭小的设备机房布局也极为紧张。
换装CR60B-S后，无油结构彻底解决了油污染问题，镀膜良率稳定提升；风冷设计免去了冷却水和氮气管路，设备机房布局更紧凑；DC密封电机节能效果明显，长期运行电费成本降低约30%；标配的远程通讯接口可接入产线PLC系统，实现远程启停和故障报警，运维效率大幅提升。
适配场景
适合大型溅射设备、蒸发镀膜设备、真空干燥设备、半导体制造辅助设备等中大型洁净真空场景，尤其适合现场仅有单相电源、安装空间有限的工况。
